為了解決標(biāo)準(zhǔn)氣體的均勻性問(wèn)題，在配制時(shí)廳以采取如下措施，促進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)氣體混合均勻。（1）先混合后裝氣，在貯氣槽或大容器內(nèi)安裝螺旋槳等攪拌器，用壓力法或其他方法把氣體充入容器中攪拌，使氣體混合均勻。當(dāng)各種氣體成分混合均勻后，用壓縮機(jī)把混合均勻的氣體充入高壓鋼瓶。但此法不適用于具有冷凝性的氣體。（2）加熱法，加熱能使不同氣體成分很快混均勻。但對(duì)裝有氣體的容器進(jìn)行加熱時(shí)，其溫度不得超過(guò)40℃，一般使用40℃以下的溫水或用溫水浸過(guò)的毛巾來(lái)加熱。有時(shí)亦可使用紅外燈或電熱毯來(lái)加熱。線寬下對(duì)超純氮?dú)獾囊?，高純氮?dú)猓≒N2）：系統(tǒng)管道采用內(nèi)壁電解拋光（EP）低碳（316L）不銹鋼管，閥門(mén)采用相同材質(zhì)的波紋管閥或隔膜閥。

什么是高純氣體？

改革開(kāi)放以來(lái)，隨著我國(guó)高新技術(shù)的快速發(fā)展，計(jì)算機(jī)工業(yè)對(duì)大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加；隨著新型能源的發(fā)展，我國(guó)大力開(kāi)拓了多晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)；此外，新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也過(guò)的迅猛發(fā)展，上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中，都需要大量高純氣體，以制造出性能可靠的各種器件。什么是高純氣體？工業(yè)氣體市場(chǎng)2017年1月份下滑，在上月高歌猛進(jìn)后，（LAr）大幅回落，許多地區(qū)的液氧（LO2）和液氮（LN2）價(jià)格亦有下降。半導(dǎo)體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類(lèi)：1、普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2、N2、O2、Ar、He等。2、特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體等。

高純氣體如何安全供氣？卡塔爾斷交事件對(duì)中國(guó)氦氣市場(chǎng)影響尚未完全結(jié)束，中國(guó)增加關(guān)稅計(jì)劃也在持續(xù)刺激支撐氦氣市場(chǎng)。為防止倒流回火應(yīng)在用氣設(shè)備的支管上設(shè)置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時(shí)突遇雷電阻止火焰蔓延至可燃?xì)怏w管道引發(fā)燃燒事故，必須在排氣管道上設(shè)置阻火器?？扇?xì)怏w在適當(dāng)?shù)墓艿捞帒?yīng)做接地，但接地電阻應(yīng)符合相關(guān)規(guī)定。各種可燃?xì)怏w管道系統(tǒng)均應(yīng)設(shè)置能引入氮?dú)獾榷栊詺怏w的接口及相應(yīng)的檢測(cè)口，以便在可燃?xì)怏w供應(yīng)系統(tǒng)使用前后或檢修動(dòng)火前后對(duì)其系統(tǒng)進(jìn)行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運(yùn)行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質(zhì)量。

高純氣體的純度

高純氣體(High Purity Gases)氣體工業(yè)名詞，通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。氣體經(jīng)加壓或降低溫度，可以使氣體分子間的距離大大縮小而被壓入鋼瓶中，這種氣體成為壓縮氣體（如氧氣、氮?dú)?、氬氣、氫氣等）。?duì)于不同類(lèi)別的氣體，純度指標(biāo)不同，例如對(duì)于氫，氮，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對(duì)于氧氣，純度為99.199%即可稱高純氧；對(duì)于碳?xì)浠衔?，純度?9199%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬，在半導(dǎo)體工業(yè)，高純氮，氫，氦可作為運(yùn)載氣，保護(hù)氣和配制混合氣的底氣。高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體，和無(wú)機(jī)高純氣體。