高純/特種氣體的概念

半導體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類：

1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。

2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。

半導體制造用氣體按照使用時的危險性分類：

1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等

2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等

3.助燃氣體：O2 、N2O、F2 、HF等

4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等

5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等

一氧化碳性質及危害

一氧化碳氣體在生活中很常見，是是無色、無臭、無味的氣體，故易于忽略而致中i毒。標準狀況下純品的一氧化碳（CO）為無色、無臭、無刺激性的氣體，密度1.250g/l，沸點-190℃。在水中的溶解度甚低，極難溶于水?？諝饣旌媳琲炸極限為12.5%～74%。一氧化碳進入人體之后會和血液中的血紅蛋白結合，產生碳氧血紅蛋白，進而使血紅蛋白不能與氧氣結合，從而引起機體組織出現缺氧，導致人體窒息死i亡，因此一氧化碳具有毒性。

既然一氧化碳的對人體的危害極大，那么在接觸這種氣體作業(yè)的人員企業(yè)配置一氧化碳氣體檢測儀是必不可少的。

高純氣體的原材料難以再產

高純原料氣體的質量對標準氣體制備的準確性，起著至關重要的作用，原料氣的不確定是構成標準氣體合成不確定度的極為重要部分，因此，沒有高質量的高純原料氣，就根本制備不出高準度的標準氣體。也正因如此，我國早在八十年代，為了標準氣體的需要，原化工部對我國的高純氣體研制進行了多年的資金支持。