高純/特種氣體的概念

半導(dǎo)體集成電路制造所需要的高純氣體主要分為兩大類(lèi)：

1.普通氣體：也叫大宗氣體，主要有：H2 、N2 、O2 、Ar 、He等。

2.特種氣體：主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體等。

半導(dǎo)體制造用氣體按照使用時(shí)的危險(xiǎn)性分類(lèi)：

1.可燃、助燃、易然易暴氣體：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等

2.有毒氣體：AsH3、PH3 、B2H6等

3.助燃?xì)怏w：O2 、N2O、F2 、HF等

4.窒息性氣體：N2 、He 、CO2、Ar等

5.腐蝕性氣體：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等

一氧化碳性質(zhì)及危害

一氧化碳氣體在生活中很常見(jiàn)，是是無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)味的氣體，故易于忽略而致中i毒。標(biāo)準(zhǔn)狀況下純品的一氧化碳（CO）為無(wú)色、無(wú)臭、無(wú)刺激性的氣體，密度1.250g/l，沸點(diǎn)-190℃。在水中的溶解度甚低，極難溶于水?？諝饣旌媳琲炸極限為12.5%～74%。一氧化碳進(jìn)入人體之后會(huì)和血液中的血紅蛋白結(jié)合，產(chǎn)生碳氧血紅蛋白，進(jìn)而使血紅蛋白不能與氧氣結(jié)合，從而引起機(jī)體組織出現(xiàn)缺氧，導(dǎo)致人體窒息死i亡，因此一氧化碳具有毒性。

既然一氧化碳的對(duì)人體的危害極大，那么在接觸這種氣體作業(yè)的人員企業(yè)配置一氧化碳?xì)怏w檢測(cè)儀是必不可少的。

高純氣體的原材料難以再產(chǎn)

高純?cè)蠚怏w的質(zhì)量對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體制備的準(zhǔn)確性，起著至關(guān)重要的作用，原料氣的不確定是構(gòu)成標(biāo)準(zhǔn)氣體合成不確定度的極為重要部分，因此，沒(méi)有高質(zhì)量的高純?cè)蠚?，就根本制備不出高?zhǔn)度的標(biāo)準(zhǔn)氣體。也正因如此，我國(guó)早在八十年代，為了標(biāo)準(zhǔn)氣體的需要，原化工部對(duì)我國(guó)的高純氣體研制進(jìn)行了多年的資金支持。