如何選擇管式爐？

1、了解您的應(yīng)用程序

單區(qū)與多區(qū)：多區(qū)爐具有多個獨(dú)立控制的恒溫區(qū)，允許受控的溫度梯度或較長的加熱區(qū)。

水平（標(biāo)準(zhǔn)）與垂直：垂直管爐提供較小的占地面積，可用于快速加熱/淬火過程

RTP（快速熱處理）：可滑動的樣品保持器或加熱爐

高壓/真空爐：特殊設(shè)計的高溫高壓真空處理用不銹鋼或高溫合金管

旋轉(zhuǎn)管式爐：加熱過程中旋轉(zhuǎn)管以提高粉末加工/涂層均勻性

氣體處理能力：可用于氫氣處理和高溫腐蝕研究的特殊模型

多功能：基于管式爐的完整系統(tǒng)，如CVD、PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和2D材料生長系統(tǒng)等

確定管式爐的使用壽命：

快速冷卻管式爐，高溫打開爐門：由于管式爐的保溫效果非常好，絕緣過程中的能耗非常低，電源后的降溫速度非常慢供應(yīng)停止了，有些客戶希望在實驗完成后立即進(jìn)行下一個實驗，以便爐門在高溫下打開以獲得高溫下降率，但對管式爐的損壞非常大，并且熱量很容易由冷和熱引起，加熱元件不能承受這種熱沖擊。通常建議將管式爐小心地降低到600°C的溫度，小心地打開一個小門，確實需要高溫拾取和放置，請考慮是否可以使用碳化硅爐。

當(dāng)真空管式氣氛爐出現(xiàn)緊急情況時如何應(yīng)對？

　一、當(dāng)加熱室加熱突然停電：

　　1、立即關(guān)閉設(shè)備總電源；

　　2、關(guān)閉各管路的真空閥，防止空氣進(jìn)入真空爐內(nèi)；

　　3、加熱室通入高純氮?dú)獾?.6*10-4使?fàn)t膛盡快冷卻下來。注意提前同時向冷卻室通氣以便壓住熱閘閥；

　　4、如果用循環(huán)水冷卻而停水，應(yīng)啟用備用水(自來水或高位水箱)。

　二、當(dāng)加熱室加熱時突然停水：

　　1、立即切斷加熱電源；

　　2、啟用備用水；

　　3、將工件從加熱室轉(zhuǎn)移到冷卻室，充氮?dú)馐构ぜ焖倮鋮s；

　　4、加熱室充入高純氮?dú)猓蛊淇焖倮鋮s到150℃以下。