凈化工程氣壓規(guī)定：

　　對于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱層流潔凈室)，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標。過去都參考美國20gB標準，采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風速的可行性。此外，在高的相對濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。在我國，《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計規(guī)范)都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s水平平行流(層流)潔凈室≥0.35m/s

　　凈化工程解決方案：還有一個值得注意的問題是，近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計算相對濕度要低，例如：冬季室外計算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%，上海和蘇州為75%，而這些年實測的室外相對濕度有時只有30%左右，因此，建起來運行的潔凈室的加濕量不足，室內(nèi)相對濕度偏低，達不到設(shè)計要求。有的工廠為了簡便和省錢，在原空調(diào)器內(nèi)增加濕膜或噴霧進行加濕以加大加濕量。但是，事與愿違，不但加不進去濕量而且加進去的還會很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來，而達不到加濕目的。因為，濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過程，加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達到加濕目的。到目前為止，在半導(dǎo)體潔凈室中最迫切需要適度控制的是光刻膠的敏感性。如果不進行加熱是不可行的。

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

　　3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計方案分析之分體空調(diào)柜機 FFU送風口

　　這是簡易的一個空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機布置于車間內(nèi)，并用彩鋼圍護起來，在柜機回風口處再在彩鋼板上開回風口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風機過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個方案適用于對室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。

　　空氣凈化在人類生活中重要作用

　　人們每天平均有70%以上的時間在室內(nèi)渡過。隨著人們生產(chǎn)和生活方式的改變，更多的工作和體育娛樂活動都可在室內(nèi)進行,購物也不必每天上街，合適的室內(nèi)氣候使人們不必經(jīng)常到戶外去調(diào)節(jié)熱效應(yīng)，這樣，人們的室內(nèi)活動時間就會更多，甚至高達90%以上。建議新風經(jīng)過集中處理后再與回風混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負擔。而老、幼、病、殘等弱勢群體、機體抵抗力較低、戶外活動機會更少，因此，室內(nèi)空氣質(zhì)量的好壞與人們的關(guān)系尤為重要。