凈化工程氣壓規(guī)定：

　　對(duì)于平行流潔凈室《習(xí)慣上稱(chēng)層流潔凈室)，由于主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截面上的速度就是非常重要的指標(biāo)。過(guò)去都參考美國(guó)20gB標(biāo)準(zhǔn)，采用0.45m/s.但人們也都了解到這樣大速度所需要的通風(fēng)量是極大的，為了節(jié)能，也都在探求降低風(fēng)速的可行性。此外，在高的相對(duì)濕度環(huán)境下，由于水分的吸收，使烘烤循環(huán)后光刻膠膨脹加重。在我國(guó)，《空氣潔凈技術(shù)措施》和(潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范)都是這樣規(guī)定的垂直平行流(層流)潔凈室≥0.25m/s水平平行流(層流)潔凈室≥0.35m/s

　　凈化工程解決方案：還有一個(gè)值得注意的問(wèn)題是，近些年來(lái)我國(guó)南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對(duì)濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計(jì)算相對(duì)濕度要低，例如：冬季室外計(jì)算相對(duì)濕度佛山無(wú)塵室、廣州均為70%，上海和蘇州為75%，而這些年實(shí)測(cè)的室外相對(duì)濕度有時(shí)只有30%左右，因此，建起來(lái)運(yùn)行的潔凈室的加濕量不足，室內(nèi)相對(duì)濕度偏低，達(dá)不到設(shè)計(jì)要求。有的工廠為了簡(jiǎn)便和省錢(qián)，在原空調(diào)器內(nèi)增加濕膜或噴霧進(jìn)行加濕以加大加濕量。但是，事與愿違，不但加不進(jìn)去濕量而且加進(jìn)去的還會(huì)很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來(lái)，而達(dá)不到加濕目的。因?yàn)?，濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過(guò)程，加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達(dá)到加濕目的。到目前為止，在半導(dǎo)體潔凈室中最迫切需要適度控制的是光刻膠的敏感性。如果不進(jìn)行加熱是不可行的。

光學(xué)微電子凈化工程解決方案:

　　3、光學(xué)微電子行業(yè)凈化工程設(shè)計(jì)方案分析之分體空調(diào)柜機(jī) FFU送風(fēng)口

　　這是簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車(chē)間內(nèi)，并用彩鋼圍護(hù)起來(lái)，在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開(kāi)回風(fēng)口(帶初效過(guò)濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過(guò)濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無(wú)塵車(chē)間。

　　空氣凈化在人類(lèi)生活中重要作用

　　人們每天平均有70%以上的時(shí)間在室內(nèi)渡過(guò)。隨著人們生產(chǎn)和生活方式的改變，更多的工作和體育娛樂(lè)活動(dòng)都可在室內(nèi)進(jìn)行,購(gòu)物也不必每天上街，合適的室內(nèi)氣候使人們不必經(jīng)常到戶(hù)外去調(diào)節(jié)熱效應(yīng)，這樣，人們的室內(nèi)活動(dòng)時(shí)間就會(huì)更多，甚至高達(dá)90%以上。建議新風(fēng)經(jīng)過(guò)集中處理后再與回風(fēng)混合，這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān)。而老、幼、病、殘等弱勢(shì)群體、機(jī)體抵抗力較低、戶(hù)外活動(dòng)機(jī)會(huì)更少，因此，室內(nèi)空氣質(zhì)量的好壞與人們的關(guān)系尤為重要。