真空泵選型

真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。

正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對ya有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。

無油螺桿真空泵

無油螺桿真空泵是一種具有廣闊應(yīng)用前景和巨大市場潛力的干式真空泵。因為作為一種直排大氣的低真空泵，與旋片泵、滑閥泵等傳統(tǒng)油封泵相比，螺桿泵具有無油污染、排除水蒸氣和固體粉塵顆粒能力強(qiáng)等特點(diǎn)；與水環(huán)泵等液封泵相比，螺桿泵具有真空度高、能耗低、抽除可溶性蒸汽時無廢液產(chǎn)生的特點(diǎn)；與爪式泵、多級羅茨泵、渦旋泵等其它干式真空泵相比，螺桿泵具有抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長等特點(diǎn)。

真空泵的定子曲線要求

真空泵的定子曲線對其抽氣速率等性能參數(shù)有直接影響，因而，獲得出色的定子曲線對真空泵的計劃至關(guān)重要。關(guān)于真空泵的定子曲線，有以下幾點(diǎn)懇求:

(1)適合的兩點(diǎn)距離

由于葉片選用一體計劃，剛性增強(qiáng)，某一端的彈性一定構(gòu)成另一端相應(yīng)的彈性。所以，不論轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)到嘟個角度。曲線有必要確保一同與旋片兩頭接觸。堅持合理的空隙.防止出現(xiàn)脫空現(xiàn)象而致使泄泊增加。

(2)葉片無沖擊振動，噪聲出色

滑潤的定子曲線也不能有過大的加速度，加速度過大會致使旋片某一端對定子曲線外表的壓皿力的增大，會增加磨損和嗓音。但是假設(shè)定子曲線上某一點(diǎn)的徑向速度發(fā)作變化，則該點(diǎn)上的徑向加速度。理論上的等于無窮大。若a為無窮大。則葉片在這一點(diǎn)將出現(xiàn)霎時間脫離，發(fā)作很大的沖擊力。構(gòu)成很大的嗓聲和嚴(yán)重的磨投。為了消除這一現(xiàn)象，懇求定子曲線遍地光滑連續(xù)，滑潤過波。

(3)有較大的抽氣速率

新的定子曲線在增大抽氣速率的一同，也應(yīng)當(dāng)具有現(xiàn)有曲線的速度和加速度特性?，F(xiàn)在，真空泵的定子曲線主要以正圓曲線為主。主要是考慮到正回曲線具有出色的速度和加速度特性，減少了真空泵作業(yè)過程中的嗓音和沖擊。