三維形貌測量系統(tǒng)

可用于物體表面三維形貌和變形測量。由于該系統(tǒng)既可配備10倍變焦遠距離顯微成像鏡頭，也可配備普通變焦鏡頭，使得該系統(tǒng)能同時滿足細觀及宏觀的測量要求。不僅可用于微電子、生物、微機械等微細結(jié)構(gòu)的形貌及變形測量，也可用于混凝土結(jié)構(gòu)、巖土試樣等大型構(gòu)件表面形貌和變形測量。系統(tǒng)配有專用的相移條紋圖像處理軟件，使得系統(tǒng)測量精度明顯提高，并且使用方便、操作簡單。

MarSurf CM mobile提供多種不同配置以便客戶選擇適合自身測試要求的配置：便攜式測量系統(tǒng)可以放置于專用保護箱中進行中遠距離運輸，另外還可以選配滾輪式工作站以便在工廠車間靈活移動。MarSurf CM mobile提供多孔位物鏡轉(zhuǎn)換器以便于客戶對不同區(qū)域大小和屬性的表面進行測量。大量的可選軟硬件配置使mobile能夠應用于不同領域的表面測量

 三維表面形貌儀是一款光學表面形貌儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標準方案或定制性方案對二維形貌或三維形貌表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤，圓度，球度，臺階高度，距離，面積，角度和體積進行多范圍測量?；诟盗⑷~變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數(shù)據(jù)配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。采用白光軸向色差原理（性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀）對樣品表面進行快速、重復性高、高分辨率的三維測量，測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌。