氦質譜檢漏主要領域：原子能工業(yè)——氣體擴散處理系統(tǒng)；高能物理研究院——及其配件；氦質譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術中較成熟的設備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護，氦質譜檢漏儀成為化工管道檢漏的不二的選擇。氦質譜檢漏主要領域：電力工業(yè)——高壓開關、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導體、傳感器和積成電路；

氦質譜檢漏儀的檢漏率應高于設備所允許漏率1-2個數(shù)量級。首先將設備穩(wěn)固的置于明亮、透風良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對產(chǎn)品質量的重視，氦質譜檢漏儀的方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。氦質譜檢漏主要領域：空調制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng)；

對于分裝或總裝，采用吸入法。被檢工件沖入氦-氮混合氣體，利用被檢工件裝配面或疑是漏點進行找漏。檢漏儀顯示數(shù)值超過規(guī)定值即為有漏。隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對產(chǎn)品質量的重視，氦質譜檢漏儀的方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應用也逐年遞增。對于容積較小的部件，如波紋管、各種充氣接頭和氣管焊接件等，采用氦罩法被檢工件抽空，檢漏儀調到漏率（10-11Pa.m3/s），然后對氦罩沖氦。

氦質譜檢漏主要領域：空調制冷工業(yè)——壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器及閥門等；真空科學與工業(yè)——泵、閥門、真空規(guī)管以及鍍膜機、真空爐等真空系統(tǒng)；氦質譜檢漏儀是用示蹤氣體氦氣的專門用于檢漏的儀器，它性能穩(wěn)定，靈敏度高，是真空檢漏技術中較成熟的設備，使用比較普遍的檢漏儀。為工廠作業(yè)人員的安全以及環(huán)境保護，氦質譜檢漏儀成為化工管道檢漏的不二的選擇。質譜檢漏儀之間使用金屬軟管連接。氦質譜檢漏儀應在校驗后使用并在檢漏期間每 1- 2 小時校驗。