光波超精密——光柵大理石氣浮導(dǎo)軌

氣浮靜壓i軸承不同結(jié)構(gòu)尺寸的阻尼差異較大，在承載方向上阻尼較小，對外界引起的振動和空氣軸承自身固有的微振動衰減較慢，影響了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和測量精度，因此在設(shè)計出氣浮塊后，必須對其阻尼系數(shù)進行準確的檢測和評價。設(shè)計了一種測量計算氣浮阻尼的儀器。常規(guī)阻尼測量方法需要記錄氣浮振動，并對計算阻尼進行再分析，在記錄氣浮振動的過程中，由于依靠氣浮塊的振動來帶動記錄筆，因此記錄結(jié)果誤差較大，因而所測阻尼結(jié)果誤差也較大。由于傳統(tǒng)的阻尼測量過程繁瑣，測量結(jié)果誤差較大，提出采用先進的傳感器和分析儀進行阻尼測量，測量結(jié)果接近真值，方法簡便。其用途十分廣泛。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——光柵大理石氣浮導(dǎo)軌

測得靜壓式導(dǎo)軌氣浮塊阻尼特性的試驗檢測裝置，包括：沖擊式導(dǎo)軌1、加速度傳感器保護盒2、加速度傳感器3、氣浮塊4、模態(tài)分析儀5、工作臺6、氣源7、氣源減壓閥8、單向閥9、供氣壓力閥10、氣浮塊11；氣源7依次通過氣源減壓閥8、單向閥9與氣源減壓閥11連接；沖擊式導(dǎo)軌3、沖擊式導(dǎo)軌1與氣浮塊4連接；氣浮塊4放置在工作臺6上，氣浮塊3安裝在氣浮塊4的中心和四角位置，氣浮塊3安裝在加速度傳感器2的位置，沖擊式導(dǎo)軌1和沖擊式導(dǎo)軌1分別與加速度傳感器保護盒5連接；

根據(jù)工作原理，將氣浮導(dǎo)軌分為兩種基本類型：氣動壓力導(dǎo)軌和空氣靜壓導(dǎo)軌。動壓力型如左下圖所示，兩面相對運動，間隙呈楔形，沿運動方向逐漸減小。氣體在楔形間隙內(nèi)相對運動，由于氣體的粘滯作用，被拖帶壓下，形成動壓懸浮。

靜壓力形式如右下圖所示，是通過節(jié)流孔將外部壓縮氣體注入到氣隙中，借助于其靜壓力使之懸浮

如圖所示，節(jié)流孔的作用是在間隙改變時，調(diào)節(jié)間隙內(nèi)的壓力，因此導(dǎo)軌有剛度。空氣浮筒導(dǎo)軌是由導(dǎo)軌和滑板組成的滑動副，滑動片之間是氣膜潤滑。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——光柵大理石氣浮導(dǎo)軌

開式靜壓導(dǎo)軌在左上角為平坦型，右上角為平坦型，左下角為雙三角型，右下角為平坦型轉(zhuǎn)折，具有以下特征：

(1)承受正載荷的能力很大，承受偏載和顛覆力的能力較差，無法承受反向載荷；

(2)導(dǎo)向器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造和調(diào)整；

當(dāng)導(dǎo)軌尺寸確定后，氣室壓力僅取決于載荷，因此載荷較小時，氣膜剛度較低

總之，開式靜壓導(dǎo)軌適用于偏載和顛覆力矩小、載荷均勻、水平放置或只有小角度傾斜的場合。

閉式靜壓導(dǎo)軌的運動部件，除了在其運動方向上有一個自由度外，其它運動自由度均受導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的限制，故屬于幾何閉合。