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開發(fā)過程中，其驗(yàn)證流程的嚴(yán)格程度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出了行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。執(zhí)行的每一個(gè)步驟均經(jīng)過仔細(xì)測(cè)試，包括壽命測(cè)試，沖擊測(cè)試，抗振動(dòng)測(cè)試，包裝測(cè)試，溫度測(cè)試，傅立葉振動(dòng)分析，噪音測(cè)試等。我們對(duì)多種不同設(shè)計(jì)生產(chǎn)了樣泵并進(jìn)行了測(cè)試，這并不局限于幾個(gè)樣品。我們知道腔體內(nèi)的大部分氣體首先是通過前級(jí)泵抽出，真空達(dá)到一定程度分子泵才會(huì)啟動(dòng)。我們?yōu)榇藢ｉT制造的樣泵多達(dá)1000 余臺(tái)，對(duì)各項(xiàng)結(jié)構(gòu)和功能參數(shù)進(jìn)行了廣泛測(cè)試和分析。在終產(chǎn)品定型時(shí)，僅選用了結(jié)果的結(jié)構(gòu)和方案；

抽速是分子泵的核心參數(shù)，提高轉(zhuǎn)速是加大抽速為直接的方法之一，隨著動(dòng)平衡技術(shù)的發(fā)展，分子泵轉(zhuǎn)子可順利地在超高轉(zhuǎn)速下穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。隨著材料科學(xué)的發(fā)展，分子泵轉(zhuǎn)子材料也發(fā)生了變化，可用硬鋁合金、碳纖維、鈦合金等高硬度材料制成，這使轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速得到進(jìn)一步提高。②、打開泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動(dòng)渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，無異常現(xiàn)象。除此之外，近些年還出現(xiàn)了多種新型分子泵，如可有效抽取水分子的低溫型分子泵，可在強(qiáng)磁場(chǎng)、強(qiáng)腐蝕條件下工作的陶瓷分子泵，以及可實(shí)現(xiàn)無接觸支撐、、高壽命的磁懸浮分子泵等。

極限真空能滿足分子泵的前級(jí)耐壓需求，且干式無油不會(huì)影響真空背景環(huán)境，無需換油，維護(hù)成本低。無油隔膜前級(jí)泵，適配于多種分子泵， 隔膜泵更是能實(shí)現(xiàn)馬達(dá)轉(zhuǎn)速自動(dòng)優(yōu)化，不僅干式無油無污染，噪音低，而且節(jié)能省耗，維護(hù)成本低。原因：防護(hù)網(wǎng)，前級(jí)管道解決方法：優(yōu)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)真空度很好的情況下，分子泵油為何會(huì)返到前級(jí)管道。同時(shí)，VARIAN TV301分子泵銷售中心無油隔膜泵也適用于所有粗真空應(yīng)用，尤其是在耐化學(xué)腐蝕方面性能突出，表現(xiàn)優(yōu)異！

泵不排液，灌泵不足（或泵內(nèi)氣體未排完）處理方法：重新灌泵；

泵轉(zhuǎn)向不對(duì)

處理方法：檢查旋轉(zhuǎn)方向；

泵轉(zhuǎn)速太低

處理方法：檢查轉(zhuǎn)速，提高轉(zhuǎn)速；

濾網(wǎng)堵塞，底閥不靈

處理方法：檢查濾網(wǎng)，消除雜物；

吸上高度太高，或吸液槽出現(xiàn)真空

處理方法：減低吸上高度；檢查吸液槽壓力。

原理：

渦輪增壓分子泵內(nèi)有多個(gè)兩色主動(dòng)輪葉和定輪葉，每一個(gè)輪葉上面有很多按一定視角斜置的葉子，如圖所示一所顯示。具體的渦輪增壓分子泵全是由多級(jí)別葉列串連構(gòu)成，即按壓片、定片、動(dòng)片等先后更替排序。動(dòng)葉子旋轉(zhuǎn)時(shí)又類似電扇葉子的功效，能將汽體從一側(cè)抽中另一側(cè)。正常工作時(shí)需要一定的前級(jí)真空度，其真空度高低視泵不同略有差異，一般在1-200Pa之間，可采用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，高真空機(jī)組是由分子泵和機(jī)械泵組成的。提升分子泵的轉(zhuǎn)速比，有益于提升分子泵的泵效。因?yàn)槿~子轉(zhuǎn)速比限定，假如汽體分子熱運(yùn)動(dòng)速率很大，泵真空包裝就較為艱難。VARIAN TV301分子泵銷售中心

牽引帶分子泵的優(yōu)勢(shì)是開機(jī)時(shí)間短，在分子結(jié)構(gòu)流動(dòng)底下很高的發(fā)動(dòng)機(jī)壓縮比，能抽除各種各樣汽體和蒸汽，非常適合抽除偏重的汽體。但因?yàn)闋恳龓Х肿颖帽眯?，密封性空隙很小，工作中可信性較弱，易出設(shè)備故障，并且生產(chǎn)制造艱難，事實(shí)上非常少運(yùn)用。新的控制軟件使用智能算法根據(jù)氣體負(fù)載的變化和實(shí)時(shí)溫度，自動(dòng)調(diào)整泵的功率，并且為三種典型氣體分別做了專有的控制曲線。之后對(duì)牽引帶分子泵開展了改善，出現(xiàn)了渦輪增壓分子泵。VARIAN TV301分子泵銷售中心