電容式非接觸式測微儀，通過電容測頭可以測量0-200μm范圍內的微小位移，測量精度為納米級。測微儀由機箱與傳感模塊組成，可組成多測量通道數(shù)。

模塊化設計、自由組拼、高分辨率、模擬輸出、非接觸式測量。

它基于一個理想的平行板電容器原理，傳感器與相對面被測目標形成的兩個電極，采用保護環(huán)電容器原理，用于測量任何金屬時，傳感器仍是線性的。

由于超精密加工的精度等級和表面質量都很高，因此，一定要有相應的檢測手段，才能驗證工件是否達到了相應的技術要求。以電容式微位移傳感器為基礎，利用運算放大器測量電路原理，當恒定頻率的正弦激勵電流通過傳感器電容時，傳感器上產生的電壓幅值與電容極板間隙成比例關系。在精密超精密加工和測量中，對測量技術提出了更為嚴格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數(shù)量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。