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六甲基二硅氮烷，無色透明液體。易水解，放出NH3，生成六甲基二硅醚。在催化劑存在下，與醇或酚反應，生成三甲基烷氧基硅烷或三甲基芳氧基硅烷。與無水氯化氫反應，放出NH3或NH4Cl，生成三甲基氯硅烷。

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可由三甲基氯硅烷與NH3反應來制取。用作氣相法白炭黑表面疏水處理劑及有機合成反應中提供N原子的試劑，還可用作碳化硅纖維的助劑，提高碳化硅纖維的耐熱性和強度，還可用作涂料的防沉淀劑。并用于制備有機硅化合物。

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R1R2R3基團可以是不同的烴基基團，因此可組合成多樣的硅醚。硅醚化合物在保護基化學當中有非常廣泛的應用，常用的硅醚有：三甲基硅基 （TMS），叔丁基二硅基（TBDPS），叔丁基二甲基硅基（TBS/TBDMS）和三硅基（TIPS）。

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精餾：將合格的液體投入精餾塔釜內，在≤92℃塔內采出三甲基一氯硅烷，然后降溫采出產品三甲基硅咪唑。本工藝使反應在常溫即可進行，且使體系中的氯化氫濃度降低幾乎達到零含量，避免了反應因氯化氫抑制反應的發(fā)生。

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