無塵車間地面應整體性好、平整、耐磨、耐沖擊、不易蓄積靜電,易

無塵車間地面應整體性好、平整、耐磨、耐沖擊、不易蓄積靜電，易于除塵清洗。地面墊層配筋，濕潤地區(qū)要防潮處理。潔凈室系統(tǒng)的監(jiān)控主要是過濾器的更換循環(huán)，潔凈室對環(huán)境濕度、溫度、新鮮空氣量、狀況、照度等有嚴格的規(guī)律，保證了產(chǎn)品的生產(chǎn)質量和人員的工作環(huán)境舒適度。整個潔凈室系統(tǒng)配備選擇初期效果、中效果、效率過濾器的三級空氣凈化系統(tǒng)，操作清潔區(qū)內的塵粒數(shù)量等。作為端部過濾裝置的有效過濾器，決定了凈化系統(tǒng)整體的運轉作用，潔凈室的裝修對于有效更換過濾器的時期是非常重要的。

十萬級凈化車間裝修注意事項

十萬級凈化車間裝修：1、區(qū)域劃分：包括清潔作業(yè)區(qū)、準清潔區(qū)、一般作業(yè)區(qū)這3個區(qū)域。2、空調機組：主指凈化空調系統(tǒng)，可把機房設立在凈化車間側面，便于風道布置與節(jié)能。注意，在北方地區(qū)，要在機組上安裝新風預熱段。而在南方地區(qū)，無需采取這項措施，只要采用初效過濾即可。3、冷水機組：分為風冷式、水冷式這2類。為了正常調節(jié)風壓與控制風量，必須在冷水機組上安裝一套完整的自控裝置才行。

靜電感應是較難操縱的要素之一，靜電感應會提升半導體元器件生產(chǎn)制造中的消耗，并減少電子元器件的穩(wěn)定性，早已說明，半導體元器件在半導體元器件的生產(chǎn)制造和檢測期內，在運送和儲存期內，在元器件的安裝和調節(jié)期內及其在應用期內很有可能遭受靜電感應，因而在半導體元器件的生產(chǎn)制造中，基本上全部生產(chǎn)制造流程都務必防止靜電感應對元器件的危害。