真空設(shè)備檢漏

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檢漏方法的分類

按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類，即加壓檢漏法和真空檢漏法。

(1)加壓檢漏法。在被檢容器內(nèi)充入一定壓力的氣體(稱試驗氣體或者探漏氣體)或液體，當(dāng)容器上存在漏孔時，氣體(或液體)便從漏孔中逸出，從哪里逸出，逸出量的多少等，就可判斷有無漏孔存在、漏孔位置和大小。屬于此類檢漏方法有:

水壓法:將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2~3個大氣壓左右，觀察容器外壁有無水珠出現(xiàn)，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢，來確定漏孔位置和估計漏氣量的大小。

氣壓法:將試驗氣體(空氣或其他氣體)壓入被檢容器，在外面檢查有無氣體逸出，具體方法有:聲響、火焰、氣泡指示法(水槽法、皂膜法);氨檢漏法;鹵素檢漏儀和氨質(zhì)譜儀吸嘴法和放she性同位素法。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫(常用850~950℃)下產(chǎn)生正離子發(fā)射(主要是堿金屬離子)，這種發(fā)射遇到鹵素氣體時急劇增加，依據(jù)這個現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀。為了滿足不同極限真空度的要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺氣冷式直排大氣羅茨泵，所達到的極限真空要比前級泵高一個數(shù)量級。

鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設(shè)置在一個探頭中，探頭是一支二極電子管結(jié)構(gòu)，加熱絲、陽極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風(fēng)扇，使用時不斷吸進氣體，工作時二極管的陽極由燈絲加熱到850~950℃，陰極對陽極加有250V負電壓并收集正離子，離子電流由電子電路放大后，用儀表指示，考慮到檢漏時無暇觀察儀表指示，儀表還設(shè)有揚聲器，當(dāng)探

出漏孔時，儀器便發(fā)出聲音。

示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂、氯fang、四LV化碳等，其中以氟利昂無du、不可燃、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應(yīng)用。檢漏時，鹵素氣體充于被檢件內(nèi)，用外探頭在外部

尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工業(yè)產(chǎn)品一般為10-6~10-7Pa·m3/s。

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氦氣質(zhì)譜分析儀：該方法就是在負壓法的基礎(chǔ)上，采用質(zhì)譜儀來進行檢漏，其連接方式有多種，根據(jù)實際的使用，對為通用和檢漏本Di的方式進行說明，該方法可以對漏點進行位置的確定和泄漏量的判斷。

其工作原理為:開始主要由真空系統(tǒng)對腔體進行抽真空，當(dāng)真空度達到檢漏儀起測點后，開啟檢漏儀，檢漏儀本身也是一組由小型分子泵和機械泵組成的真空系統(tǒng)，其開啟后也參與腔體的抽氣工作，此時，檢測人員，就可以采用氦氣對腔體中所有接口及焊縫進行吹氣，如果有漏點存在，當(dāng)氦氣經(jīng)過此位置時，就會有少量的氦氣隨同空氣進入腔體，再由真空管路抽走，此時，會有少量的氦氣進入檢漏儀中，檢漏儀內(nèi)部的氦氣質(zhì)譜儀，就會檢測到氦氣的存在，通過報警器發(fā)出報警，提示檢測人員在此位置附近存在泄漏點。由于，氦氣的密度小，在大氣中其會向上飄散，故此，在吹氣檢測時，應(yīng)從設(shè)備上部開始吹氣，以便漏點的位置確定。在進行雙層夾套的檢漏時，可以將夾套作為獨立的腔體進行單獨抽真空檢漏，實現(xiàn)對內(nèi)外壁的一次性檢測。由于目前檢漏儀技術(shù)足以做到使真空系統(tǒng)的漏氣量遠小于系統(tǒng)的放氣量，因此真空系統(tǒng)所需要的真空泵的大小主要取決于真空系統(tǒng)所使用的材料放氣率的大小。因為它具有體積小、質(zhì)量輕、操聲低等優(yōu)點，所以更適宜于實驗室里使用。所以，針對不同類型的內(nèi)膽材料需要真空泵的抽速也會不盡相同。

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真空設(shè)備檢漏

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聽音法

氣體從小孔中噴出時，會發(fā)出聲音。聲音的大小和頻率取決于泄漏率的大小、兩側(cè)的壓力、壓差和氣體的種類等。根據(jù)氣體漏出時發(fā)出的聲音判斷有無泄漏。

該方法的靈敏度很大程度上受環(huán)境的影響。若工廠噪音較大，則小的聲音就不易聽清。使用聽診qi，某種程度上可以消除周圍噪音的影響，聽清泄漏聲音，但有時與泄漏無關(guān)的聲音（例如電機的聲音）也會混雜進來，從而影響檢漏靈敏度。為了辨別較小的聲音，可用話筒和放大器將聲音放大。但此時其它聲音也同時放大，多數(shù)情況下較難收到好的效果。但反觀表壓，愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所請求的絕dui壓力（極限真空）是靠近‘0'，那么只要真空泵才能夠滿足這個需求。在檢測壓力為0.3MPa，周圍非常安靜的條件下，可以聽出5′10-2cm3/s的泄漏率的聲音。

這種方法既簡單、經(jīng)濟。使用聽診qi，在某種程度上可以判斷出泄漏點。如單憑耳朵聽，往往因聲波的反射或吸收，很難確定泄漏點，即發(fā)聲地點。由于檢測環(huán)境條件不同，所得到的結(jié)果可能偏差很大。因此，這種方法的穩(wěn)定性和可靠性很差。應(yīng)與其它檢測法并用。

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氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)在真空檢漏領(lǐng)域里不僅能定位、定性、定量檢漏，且具有操作簡便、準(zhǔn)確可靠、安全高xiao、成本較低、用途廣泛等特點。采用這種檢漏技術(shù)無論從小件到大件，從小系統(tǒng)到大系統(tǒng)檢漏，從確定漏孔檢漏到確定漏率檢漏，都能準(zhǔn)確快捷有效。隨著氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟，未來將逐漸滲透到各個高低端行業(yè)領(lǐng)域，應(yīng)用前景廣闊，因此值得推廣應(yīng)用。這種單級設(shè)計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。