氦質(zhì)譜檢漏儀——產(chǎn)品介紹

它采用輕巧的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，整體體積小，非常易于集成在工業(yè)密封性測(cè)試設(shè)備中。

該產(chǎn)品既可在真空中進(jìn)行低壓檢測(cè)，也可利用吸槍線進(jìn)行本地高壓檢測(cè)，廣泛適用于鋰電，制冷，電力，汽車空調(diào)等行業(yè)多種檢測(cè)要求。

性能特點(diǎn)

緊湊的模塊化設(shè)計(jì)，便于用戶個(gè)性化地集成檢漏系統(tǒng)中

通過(guò)各種不同的模擬和數(shù)字接口，實(shí)現(xiàn)通訊的多樣性

啟動(dòng)時(shí)間短，快速的信號(hào)響應(yīng)和信號(hào)清除；檢漏效率較高

智能故障提示及報(bào)警功能 

氦質(zhì)譜檢漏儀的原理

運(yùn)用質(zhì)譜原理制成的儀器稱為質(zhì)譜計(jì)或質(zhì)譜儀。質(zhì)譜儀通過(guò)其核心部件質(zhì)譜室，使不同質(zhì)量的氣體變成離子并在某種場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)后，不同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中彼此分開，而相同質(zhì)荷比的離子在場(chǎng)中匯聚在一起，如果在適當(dāng)位置安置接收所有這些離子，就會(huì)得到按照質(zhì)荷比大小依次分開排列的質(zhì)譜圖，這就是質(zhì)譜。被檢件放入檢漏罐中，再將檢漏罐連接到氦質(zhì)譜檢漏儀，對(duì)檢漏罐抽真空檢漏，被檢件有漏孔存在，通過(guò)漏孔壓入（或封入）被檢件的氦氣會(huì)泄漏出來(lái)進(jìn)入檢漏罐，被氦質(zhì)譜檢漏儀定量檢測(cè)到。

用于檢漏的質(zhì)譜儀稱為質(zhì)譜檢漏儀。測(cè)量氣體分壓力的所有質(zhì)譜計(jì)，如四極質(zhì)譜計(jì)、射頻質(zhì)譜計(jì)、飛行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)、回旋質(zhì)譜計(jì)等都可以用于檢漏。

氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)組成

氦質(zhì)譜檢漏儀——質(zhì)譜室

不同類型的氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜室結(jié)構(gòu)大同小異，都是由離子源、分析器和收集器三部分組成，它們放在一個(gè)抽成高真空的質(zhì)譜室外殼中。 

1）離子源

離子源的作用是使氣體分子電離，形成一束具有一定能量的離子。它由燈絲（陰極）、離化室及離子加速極組成。

燈絲在真空中通電加熱后發(fā)射電子，在離化室與燈絲之間的電場(chǎng)的作用下，電子加速穿過(guò)離化室頂部狹縫進(jìn)入離化室，在離化室中與氣體分子發(fā)生多次碰撞后損失能量，然后打到分子電離形成正離子，正離子在離化室與加速極之間的電原U（即離子加速電壓）作用下，相繼穿過(guò)離化室正面的矩形狹縫和加速極的矩形狹縫，由于加速電場(chǎng)對(duì)離子做的功轉(zhuǎn)變?yōu)殡x子的動(dòng)能，便形成具有一定能量的離子束。由于離子是由中性氣體分子失去Z個(gè)帶負(fù)電荷e的電子而形成的，所以離子電荷為正的Ze。由于各種氣體的離子均受同一電場(chǎng)的加速，當(dāng)它們的電荷量相等時(shí)，它們的能量相等，但由于質(zhì)荷比不同，故運(yùn)動(dòng)速度也就不同。其工作原理是在高壓輸出中如遇雷擊，氧化鋅片電阻變小，大電流對(duì)地短路，輸電線路被保護(hù)。 

2）分析器

分析器作用是使不同質(zhì)荷比的離子按不同軌跡運(yùn)動(dòng)，從而將它們彼此分開，僅使氦離子通過(guò)其出口隙縫。分析器由一個(gè)外加均勻磁場(chǎng)及一個(gè)出口電極組成。磁場(chǎng)方向與離子束入射方向垂直。

3）收集極

收集極是對(duì)準(zhǔn)出口電極狹縫安裝的，其作用是收集穿過(guò)出口電極狹縫的氦離子并通過(guò)一個(gè)電阻輸入到小電流放大器進(jìn)行離子流的放大和測(cè)量。由于氦離子一般只有10-13~10-12A，要使小電流放大器輸入信號(hào)電壓足夠大，則輸入電阻必需很大（一般高于1010歐），放大用的靜電計(jì)管必須要高度絕緣，所以把高阻及靜電計(jì)管放在高真空的質(zhì)譜室中。氦質(zhì)譜檢漏儀——電氣部分除了主機(jī)供電部件和主機(jī)控制部件，還有幾組主要電路：1）離子源電源。

氦質(zhì)譜檢漏儀——應(yīng)用介紹

（1）電子行業(yè)微波發(fā)射管、電子管、晶體管、集成電路、密封繼電器、各類傳感器、心臟起博器。

（2）真空行業(yè)，儀器、儀表行業(yè)

管道、接頭、閥門、波紋管、各種真空泵、各類排氣機(jī)組、電鏡、質(zhì)譜儀、電子束離子速暴光機(jī)、激光軸分離器鍍膜機(jī)、薄膜真空計(jì)。

（5）核工業(yè)

鈾分離裝置、存儲(chǔ)裝置、核發(fā)電裝置。

（6）制冷行業(yè)冰箱、空調(diào)、制冷機(jī)組、汽車用空調(diào)、蒸發(fā)器、冷凝器、壓縮機(jī)、低溫儲(chǔ)槽。

（7）不銹鋼保溫器皿

真空保溫杯、瓶、鍋、飯盒等。

（8）軍類行業(yè)

核工業(yè)、航空工業(yè)、航天工業(yè)、船舶工業(yè)、軍事電子六大類。