一般來說，百級凈化無塵車間，要求每立方米空氣中，0.5微米的容許粒子數(shù)小于3520個，5微米的容許粒子數(shù)小于293個。千級凈化無塵車間，則要求每立方米空氣中，0.5微米的容許粒子數(shù)小于35200個，5微米的容許粒子數(shù)小于2930個。萬級凈化無塵車間，要求每立方米空氣中，0.5微米的容許粒子數(shù)小于352000個，5微米的容許粒子數(shù)小于29300個。

光學微電子凈化工程一般包括：潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)風淋室管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)設備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設備用房)光學微電子凈化工程凈化原理氣流→初效空氣過濾器凈化→空調(diào)→中效空氣過濾器凈化→風機送風→管道→空氣過濾器凈化風口→吹入房間→帶走塵埃細菌等顆?！仫L百葉窗→初效空氣過濾器凈化重復以上過程，即可達到凈化目的。

無塵車間風淋室是人進到無塵車間所的安全通道，其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃，能有效的阻斷或減少塵源進入潔凈區(qū)。無塵車間內(nèi)風淋室的應用和管理方法有一下幾點。無塵車間風淋室的應用：在進入無塵車間前要先脫掉外套，手機手表等物品放儲藏室進無塵車間需要穿凈化無塵衣、戴好帽子、防護口罩等進入風淋室后馬上自動關(guān)閉不銹鋼風淋板，紅外感應（語音控制/身體能源）磁感應自動起動，吹淋15秒（原廠已設定）。注意事項：吹淋工作時不可以另外開啟2個鋁合金門，如果強制開啟會毀壞智能鎖密碼，風淋室二門是電子器件自鎖互鎖操縱。