質(zhì)量流量控制器概述

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熱式質(zhì)量流量控制器，利用氣流流過毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質(zhì)量流量。不同于容積式流量計，其流量精度不受氣體壓力、環(huán)境溫度影響。由于上下游溫差總是實時反應氣流瞬時流量， 所以特別適用于過程控制中的氣體流量的精密測量和控制。

質(zhì)量流量控制器簡介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測量與控制。

特點：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小。

質(zhì)量流量計簡介

質(zhì)量流量：

以單位時間內(nèi)流過某截面的流體質(zhì)量表示的流量。氣體質(zhì)量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標準）. 標準狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質(zhì)量流量計的測量

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質(zhì)量流量計直接測量通過流量計的介質(zhì)的質(zhì)量流量,還可測量介質(zhì)的密度及間接測量介質(zhì)的溫度。由于變送器是以單片機為核心的智能儀表，因此可根據(jù)上述三個基本量而導出十幾種參數(shù)供用戶使用。質(zhì)量流量計組態(tài)靈活，功能強大,性能價格比高，是新一代流量儀表。

質(zhì)量流量計可分為兩類：一類是直接式，即直接輸出質(zhì)量流量；另一類為間接式或推導式，如應用超聲流量計和密度計組合，對它們的輸出再進行乘法運算以得出質(zhì)量流量。

直接式質(zhì)量流量計有多種類型，如量熱式、角動量式、陀螺式和雙葉輪式等。