無塵凈化車間工程，由中央空調(diào)和空氣凈化系統(tǒng)組成，它們就是凈化系統(tǒng)的心臟。主要控制無塵凈化車間空氣灰塵微粒數(shù)，調(diào)節(jié)車間溫度和溫度。) 風(fēng)淋室、更衣室、凈化間是車間凈化系統(tǒng)的三個(gè)基本組成部分。風(fēng)淋室是進(jìn)出潔凈區(qū)的通道，利用噴出的高速潔凈氣流，可以有效并且迅速地清除人體所帶的塵埃及細(xì)菌。凈化間采用夾層彩鋼板隔離空間以及墻壁，上部彩鋼天花吊頂，地板用環(huán)氧樹脂鋪成。

無塵車間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來確定，在滿足加工工藝的條件下，應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對(duì)溫濕度的要求也越來越高，必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0。

對(duì)無塵室C/R而言，較嚴(yán)格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對(duì)材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應(yīng)有其優(yōu)先級(jí)。在應(yīng)用力面、天花板、地板及墻壁三者之中很重要的為天花板，其包含HEPA及ULPA等濾網(wǎng)，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會(huì)因各個(gè)不同的需要，便其分開來，供應(yīng)各個(gè)不同區(qū)域的小房間，曾有人說：若建造之預(yù)算因某種原因被限制，除了少數(shù)的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實(shí)天花板是一個(gè)頗復(fù)雜的系統(tǒng)其必須嚴(yán)格地過濾粒子，故其設(shè)計(jì)必須準(zhǔn)確。