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發(fā)布時(shí)間:2020-12-19 07:26  
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淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良,并有完善的質(zhì)量管理體系,可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。
水環(huán)式真空泵的優(yōu)點(diǎn)
1)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,制造精度要求不高,容易加工。
2)結(jié)構(gòu)緊湊,泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高,一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián),無(wú)須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸,可以獲得大的排氣量,占地面積也小。
3)壓縮氣體基本上是等溫的,即壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小。
4)由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬磨擦表面,無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑,而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。
5)吸氣均勻,工作平穩(wěn)可靠,操作簡(jiǎn)單,維修方便。
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水環(huán)真空泵的排出側(cè)必需裝設(shè)閥門(球閥或截止閥等)和逆止閥。閥門用來(lái)調(diào)理泵的工況點(diǎn),逆止閥在液體倒流時(shí)可避免泵反轉(zhuǎn),并使泵防止水錘的打擊。
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定期清洗真空泵及其他附件、過(guò)濾、管道,避免超壓:
半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí),抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵,其成分可能極為復(fù)雜,如SiH4與O2在泵口形成SiO2,TiCl4水解會(huì)形成HCl;假設(shè)是油封式機(jī)械泵,這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì),就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng),影響真空泵性能,造成壓力上升或超壓,一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗,并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。
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