淄博齊韻泵業(yè)科技有限公司技術(shù)力量雄厚、制造設(shè)備精良，并有完善的質(zhì)量管理體系，可為用戶設(shè)計(jì)、制造不同類型的真空泵、水泵及設(shè)備機(jī)組。

水環(huán)式真空泵的優(yōu)點(diǎn)

　　1）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造精度要求不高，容易加工。

　　2）結(jié)構(gòu)緊湊，泵的轉(zhuǎn)數(shù)較高，一般可與電動(dòng)機(jī)直聯(lián)，無(wú)須減速裝置。故用小的結(jié)構(gòu)尺寸，可以獲得大的排氣量，占地面積也小。

　　3）壓縮氣體基本上是等溫的，即壓縮氣體過(guò)程溫度變化很小。

　　4）由于泵腔內(nèi)沒(méi)有金屬磨擦表面，無(wú)須對(duì)泵內(nèi)進(jìn)行潤(rùn)滑，而且磨損很小。轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定件之間的密封可直接由水封來(lái)完成。

　　5）吸氣均勻，工作平穩(wěn)可靠，操作簡(jiǎn)單，維修方便。

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水環(huán)真空泵的排出側(cè)必需裝設(shè)閥門（球閥或截止閥等）和逆止閥。閥門用來(lái)調(diào)理泵的工況點(diǎn)，逆止閥在液體倒流時(shí)可避免泵反轉(zhuǎn)，并使泵防止水錘的打擊。

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定期清洗真空泵及其他附件、過(guò)濾、管道，避免超壓：

　　半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用時(shí)，抽取介質(zhì)過(guò)程中經(jīng)過(guò)反應(yīng)室與真空泵，其成分可能極為復(fù)雜，如SiH4與O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解會(huì)形成HCl；假設(shè)是油封式機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)還可能與泵油發(fā)生化反。這些變化假設(shè)形成顆粒、可凝物或者腐蝕性介質(zhì)，就可能堵塞真空泵或管路系統(tǒng)，影響真空泵性能，造成壓力上升或超壓，一點(diǎn)中提到的危險(xiǎn)性也更大。所以需要及時(shí)的清洗，并在必要的時(shí)候設(shè)置過(guò)濾設(shè)備。

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