凈化車間工程傳統(tǒng)技術(shù)與無塵室新技術(shù)的對比無塵空氣凈化車間的結(jié)構(gòu)組成說明：按照無塵凈化車間管理規(guī)定，無塵凈化級別主要就是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子的數(shù)量來規(guī)定。但是對于光學(xué)構(gòu)造來講，一點點的灰塵都可能會產(chǎn)生非常大的不好的影響。因此在無塵凈化車間管理規(guī)定中說明在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，要求無塵凈化車間無塵是必然的。

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無塵車間-潔凈廠房的竣工驗收，是在各分部單機試車，無生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車自檢合格后進(jìn)行?？⒐を炇盏膬?nèi)容是對各分部工程的單機試車和無生產(chǎn)負(fù)荷系統(tǒng)試車的核查，潔凈室(區(qū))性能參數(shù)檢測和調(diào)試、各分部觀感質(zhì)量核查，按要求進(jìn)行功能檢測和調(diào)試。

潔凈廠房竣工驗收時，應(yīng)認(rèn)真檢查竣工驗收的資料，一般包括下列文件及記錄：

1 圖紙會審記錄、設(shè)計變更通知書和竣工圖;

2 各分部工程的主要設(shè)備、材料和儀器儀表的出廠合格證明及進(jìn)場檢驗報告;

3 各分部工程的單機設(shè)備、系統(tǒng)安裝及檢驗記錄;

4 各分部單機試運轉(zhuǎn)記錄;

5 各分部工程、系統(tǒng)無負(fù)荷試運轉(zhuǎn)與調(diào)試記錄;

6 各類管線試驗、檢查記錄;

7 各分部工程的安全設(shè)施的檢驗和調(diào)試記錄;

8 各分部工程的質(zhì)量驗收記錄。

　微電子C/R建設(shè)費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計定型。