壓電疊堆的特性分析：在精密驅(qū)動機構中，驅(qū)動器是必備的重要部件，驅(qū)動器的行呢個直接影響到精密驅(qū)動機構的性能，壓電陶瓷具有自發(fā)極化的性質(zhì), 而自發(fā)極化可以在外電場的作用下發(fā)生轉變。當給具有壓電性的電介質(zhì)加上外電場時會發(fā)生如圖所示的變化, 壓電陶瓷會有變形。壓電比列閥的工作原理：壓電比例閥利用壓電原件與半導體傳感器，通過對電氣比例信號的調(diào)節(jié)，可高精度，高響應、無噪音的對氣體的壓力與流量進行無級控制。

 比例式壓力閥基本上是以電磁線圈所產(chǎn)生的電磁力,來取代傳統(tǒng)壓力閥上的彈簧設定壓力,由于電磁線圈產(chǎn)生的電磁力是和電流的大小成正比的，常規(guī)的電氣比例閥無法實現(xiàn)精密控制,利用壓電疊堆作為動力源,研究制作了一種新的電器比例閥,即壓電式電氣比例閥。壓電疊堆具有承載力大、響應快、位移可重復性好、體積以及電場控制相對簡單等優(yōu)點。諧振位移驅(qū)動器是利用壓電體在諧振狀態(tài)下大的位移變形來形成驅(qū)動能力的。

 壓電疊堆具有承載力大、響應快、位移可重復性好、體積以及電場控制相對簡單等優(yōu)點。諧振位移驅(qū)動器是利用壓電體在諧振狀態(tài)下大的位移變形來形成驅(qū)動能力的。壓電陶瓷之所以會有變形, 是因為當加上與自發(fā)極化相同的外電場時, 相當于增強了極化強度。在電氣伺服控制系統(tǒng)中,其核心元件是電氣比例。壓電體受到外機械力作用而發(fā)生電極化，并導致壓電體兩端表面內(nèi)出現(xiàn)符號相反的束縛電荷，其電荷密度與外機械力成正比，這種現(xiàn)象稱為正壓電效應.