湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

工件放人爐內(nèi)作為陰極，爐體作為陽(yáng)極，再通人少量氨、氮或氮亞混合氣體，然后在兩極間施加一定電壓使氮電離，氮電離后即以髙速?zèng)_擊工件，離子的動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能將工件加熱至滲氮溫度。

離子滲碳是將工件裝入溫度在900℃以上的真空爐內(nèi)，在碳?xì)浠衔锏臏p壓氣氛中加熱，同時(shí)在工件( 陰極)和陽(yáng)極之間施加高壓直流電，產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象，使活化的碳被離子化，在工件附近加速并轟擊工件表面進(jìn)行滲碳的工藝。

將兩個(gè)面積不相等的電極置于射頻(例如13.56MHZ)輝光放電離子體中形成非對(duì)稱放電，面積小的那個(gè)電容耦合陰極有可能形成并建立陰極靶表面的負(fù)偏壓，并能產(chǎn)生濺射。?電容耦合型射頻(RF)放電電極自給偏壓的形成，可以防止絕緣層表面正電荷的積累，有助于射頻放電的維持。若半周期內(nèi)多個(gè)電流脈沖，并且Lisajous圖形為斜平行四邊形，則為絲狀放電。陰極靶表面的“自生負(fù)偏壓”的數(shù)值可以近似等于射頻濺射電壓的幅值，1高時(shí)可達(dá)千伏量級(jí)。