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發(fā)布時間:2021-01-19 19:44  

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在印制電路工業(yè)的傳統(tǒng)知識里﹐特別是印制電路原料的供貨商們皆認同﹐并得經(jīng)驗證 實﹐氨性蝕刻液中的一價銅離子含量越低﹐反應速度就越快。 事實上﹐許多的氨性蝕刻液 產(chǎn)品都含有價銅離子的特殊配位基(一些復雜的溶劑)﹐其作用是降低一價銅離子(產(chǎn)品具 有高反應能力的技術秘訣)﹐可見一價銅離子的影響是不小的。 將一價銅由 5000ppm 降至 50ppm, 蝕刻速率即提高一倍以上。5g/l,陰極電流密度50~60a/dm2,溫度55~60℃。 由于在蝕刻反應的過程中會生成大量的一價銅離子, 而一價銅離子又總是與氨的絡合 基緊緊的結合在一起﹐所以要保持其含量近于零是十分困難的。


蝕刻過程中應注意的問題

1. 減少側蝕和突沿﹐提高蝕刻系數(shù)

側蝕會產(chǎn)生突沿。 通常印制板在蝕刻液中的時間越長, 側蝕的情況越嚴重。 側蝕將嚴 重影響印制導線的精度﹐ 嚴重的側蝕將不可能制作精細導線。所以﹐采用無銅的添加液來漂洗板子(第二次噴淋操作的方法)﹐可大大地減少銅的排出量。 當側蝕和突沿降低時﹐蝕刻 系數(shù)就會升高﹐高蝕刻系數(shù)表示有保持細導線的能力﹐使蝕刻后的導線能接近原圖尺寸。 無論是錫-鉛合金﹐錫﹐錫-鎳合金或鎳的電鍍蝕刻劑, 突沿過度時都會造成導線短路。



化學蝕刻(Chemical etching)-- 氣態(tài)物質(中性原子團)與表面反應, 產(chǎn)物必定易揮發(fā),也稱為等離子蝕刻。 等離子增強蝕刻(Ion-enhanced etching)—單獨使用中性原子團不能形成易揮發(fā)產(chǎn)物,具有一定 能量的離子改變襯底或產(chǎn)物;具有一定能量的離子改變襯底或產(chǎn)物層,這樣,化學反應以后 能生成揮發(fā)性物質,亦稱為反應離子蝕刻(RIE) 。 濺射蝕刻(Sputter etching)--具有一定能量的離子機械的濺射襯底材料。 蝕刻速率(Etch rate)--材料的剝離速率,通常以?/min,?/sec,nm/min, um/min 為單位計 量。 各向同性蝕刻( Isotropic etch)-- 蝕刻速率在所有方向都是相同的。目前﹐無論使用何種蝕刻液﹐都必須使用高壓噴淋﹐而為了獲得較整齊的側邊線條和高質量的蝕刻效果﹐對噴嘴的結構和噴淋方式的選擇都必須更為嚴格。