無塵車間潔凈室管理制度

1 半導體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內(nèi)的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內(nèi)的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進行管理。

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無塵車間凈化工程的凈化原理

氣流→初效空氣處理→空氣調(diào)節(jié)→中效空氣處理→風機加壓送風→凈化送風管道→送風口→潔凈室→帶走塵埃 → 回風夾道→新風、初效空氣處理。  

重復以上過程，即可達到凈化目的。  

技術參數(shù)  

換氣次數(shù)：十萬級10－15次/小時；  

萬級15－25次/小時；  

千級50－52次/小時;  

百級操作臺斷面風速0.25-0.35m/s；  

壓差：主車間對相鄰潔凈房間≥5Pa；潔凈房間對非潔凈區(qū)≥10Pa；  

溫度:冬季＞16℃±2℃；夏季 ＜26℃±2℃；  

相對濕度：45－65％（RH）；  

噪聲≤65dB（A）；  

新風補充量：總送風量的20％－30％；    

照度：≥300Lux。  

結構材料  

1.潔凈室墻、頂板材料一般采用50mm厚的夾芯彩鋼板、凈化專用的氧化鋁型材制造。門采用凈化密閉門，窗采用鋁合金玻璃固定窗。  

2.地面采用環(huán)氧自流平或耐磨塑料潔凈地板。  

3.凈化通風管道選用鍍鋅薄鋼板制作，并采用“PEF”阻燃型的保溫板做保溫。

無塵車間潔凈度等級劃分標準

ISO 14644的本部分ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標準方法.

為劃分等級,ISO 14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標準協(xié)議,以依據(jù)大于或小于分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標識.  

ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標準中的一個標準.除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設計、技術要求、運行和控制中予以考慮.