用氦氣作為氦質(zhì)譜檢漏氣體的原因

1、氦在被檢件及真空系統(tǒng)中不易被吸附。這樣檢出一個(gè)漏孔可以使氮信號(hào)迅速消失以便繼續(xù)進(jìn)行檢漏，提高了儀器的檢漏效率。

2.氫氣有些性能(如質(zhì)量小、易通過(guò)漏孔)比氦還好，然而由于氫一方面有 危險(xiǎn)，另- -方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn):大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大,以致靈敏度大大降低，所以很少采用。

氦質(zhì)譜檢漏儀的基本原理與結(jié)構(gòu)

氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管,真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測(cè)器;真空系統(tǒng)-般由分子泵機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。如果您對(duì)氦檢漏感興趣，歡迎點(diǎn)擊左右兩側(cè)的在線客服，或撥打咨詢(xún)電話。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以-定能量注入質(zhì)分析器，目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類(lèi)離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。子檢測(cè)器的作用是手機(jī)質(zhì)星分析器所選定的氦離子流并加以放大，再通過(guò)比對(duì)運(yùn)算，得出泄漏率

真空系統(tǒng)的作用是獲取質(zhì)譜過(guò)程所需的真空，同時(shí)完成被檢件的抽空和氦氣的引入。空系統(tǒng)-般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成組成。真空箱氦檢漏真空箱氦檢漏，根據(jù)氦檢漏的基本檢漏原理，用氦氣作為示蹤氣體，在真空箱內(nèi)將氦氣充入工件，然后通過(guò)氦檢漏儀能、迅速準(zhǔn)確的判斷工件的泄露情況。按照真空系統(tǒng)的不同結(jié)構(gòu)，檢漏儀分為常規(guī)系統(tǒng)和逆擴(kuò)散兩種。常規(guī)系統(tǒng)多用于早期的氦質(zhì)譜檢漏儀,該種檢漏儀的被檢件與高真空部分直接相通，由被檢件泄入的氮?dú)馐紫鹊竭_(dá)質(zhì)譜管被檢到，因而具有較高的靈敏度,但是會(huì)對(duì)質(zhì)譜管有污染。逆擴(kuò)散系統(tǒng)檢漏儀與常規(guī)系統(tǒng)相比，被檢件只與低真空相通,因

此只需將被檢工件抽至低真空就能進(jìn)行檢漏，氦氣是逆擴(kuò)散到質(zhì)譜管,不會(huì)對(duì)系統(tǒng)有污染,因此被廣泛采用,已成為市場(chǎng)的主品。

機(jī)械泵的工作方式不-樣,分為干泵檢漏儀和油泵檢漏儀，油泵工作會(huì)有油霧排出,污染工作環(huán)境，干泵沒(méi)有油霧排出對(duì)工作環(huán)境沒(méi)有影響。在半導(dǎo)體潔凈車(chē)間都是使用干泵檢漏儀。

檢漏設(shè)備在檢測(cè)時(shí)需要留意的事項(xiàng)

檢漏設(shè)備來(lái)講，咱們其實(shí)也便是要留意，這個(gè)方面來(lái)講，其實(shí)也便是能夠快速的找出它的走漏點(diǎn)，其本錢(qián)來(lái)講其實(shí)也便是會(huì)比較高，咱們的檢漏設(shè)備其實(shí)也便是能夠合適批量化作業(yè)；這個(gè)方面來(lái)講的話，咱們其實(shí)也便是要留意，關(guān)于其檢漏設(shè)備應(yīng)該在無(wú)風(fēng)狀態(tài)下進(jìn)行運(yùn)用。5、觀察時(shí)需要保證光線充足，液體清澈透明（皂膜法時(shí)尤其要注意皂液的稀稠度，過(guò)稀易流動(dòng)滴落導(dǎo)致漏檢，過(guò)稠易堵塞透明度差或形成氣泡造成誤檢），觀察背景要暗。

再者，咱們其實(shí)也便是要留意，關(guān)于檢漏設(shè)備檢測(cè)氣密性的時(shí)分，首要來(lái)講，其實(shí)也便是要留意制止呈現(xiàn)揉捏的現(xiàn)象，簡(jiǎn)略來(lái)講，其實(shí)也便是要直接的制止其踐踏儀器或者是直接的坐在儀器上，或者是在咱們的儀器上直接的擺放其他物品。

運(yùn)用檢漏設(shè)備檢測(cè)氣密性的時(shí)分，留意不要隨意拔下配管。其在加壓狀態(tài)下，制止取下銜接儀器和減壓閥之間的一個(gè)接頭和配管。另一種是在成品環(huán)節(jié)檢漏，電芯在箱外充氦，電芯注入電解液的同時(shí)將氦氣充入電芯內(nèi)部，然后將電池放入真空箱內(nèi)進(jìn)行檢漏。也正是由于如此，其很多的壓縮空氣吹出，這樣來(lái)講的話，其實(shí)也便是會(huì)對(duì)人形成很大的損傷；再者，其在反常狀態(tài)下其實(shí)也便是要制止進(jìn)行運(yùn)用。

檢漏設(shè)備沒(méi)有被測(cè)物或者是銜接配管的時(shí)分，其實(shí)也便是不要進(jìn)行檢測(cè)。否則的話，它從檢漏儀走漏出的很多壓縮空氣來(lái)講，這樣來(lái)講，其實(shí)也便是會(huì)對(duì)人形成很大的損傷；在走漏測(cè)驗(yàn)完畢的時(shí)分，記住把空氣徹底掃除潔凈之后，其實(shí)也便是要撤除被測(cè)物。