特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會受益于特種氣體的獨特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。隨著國產(chǎn)化的推進，部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應，占據(jù)市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競爭力，質(zhì)量管理，品牌效應方面來說，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。根據(jù)有關數(shù)據(jù)顯示，中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長，僅2016年，中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術層面歐美國家占據(jù)較好的地位。

 特種氣體廣泛應用于半導體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。特種氣體興起于60年代中期，作為基礎化工材料，主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產(chǎn)品技術的發(fā)展，其應用范圍也越來越廣泛。

  CO2原料氣中包含的大量烴、硫類雜質(zhì)傳統(tǒng)精餾無法去除，本公司經(jīng)過多年潛心研究和多項實驗，研發(fā)出的多元精餾添加劑打破了雜質(zhì)共沸而無法除去的技術難題，使用精餾代替粗脫硫、水解、精脫硫、脫烴、二次脫水等多種工段，較傳統(tǒng)工藝一次性投資降低 50%。在半導體制造過程中涉及的材料眾多，在半導體集成電路的生產(chǎn)過程中，從芯片生長到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體，因此電子特種氣體被稱為半導體材料的“糧食”和“源”。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個必然方向，這就要求特種氣體的分離技術不斷進步以滿足純度的要求。

 特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設備，一般應配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關、風壓事故報警、、壓力監(jiān)測及報警等安全使用所必須的設施。排風管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動、半自動、全自動三類。目前，國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達150余家，多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小?？鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設立了眾多合資或獨資的氣體公司，占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。