工業(yè)氧是用于工業(yè)生產(chǎn)及產(chǎn)品加工的氣體，質(zhì)量要求較低一般要求純度在</span>99%<span>以上為合格。灌裝規(guī)程不如氧氣嚴(yán)格，常常會有水分和其他雜質(zhì)混入并且殘留在鋼瓶氧氣鋼瓶中，混入和殘留在鋼瓶中的水份會導(dǎo)致氧氣瓶內(nèi)壁銹蝕，從而使瓶內(nèi)氣體帶有異味

   聞的方法對于新氧氣瓶充裝的工業(yè)氧氣不是很有效，因為充裝氧氣的氧氣瓶和充裝工業(yè)氧氣的氧氣瓶在剛開始使用的時候，通過人的嗅覺是很難發(fā)現(xiàn)區(qū)別的，但是隨著時間的推移，工業(yè)氧氣瓶內(nèi)的銹蝕程度逐漸加深，稍微打開氧氣瓶的開關(guān)（開關(guān)不能開啟過大），能夠聞到濃烈的硫磺、水銹、或者酸味的，很有可能不是氧氣由于氧氣瓶閥體內(nèi)有橡膠密封圈，個別氧氣鋼瓶可以聞到膠皮味道是正?，F(xiàn)象。

隨著微電子工業(yè)的不斷發(fā)展,特別是超大規(guī)模集成電路制造的晶圓尺寸不斷增大,線寬尺寸從微米級進(jìn)人到亞微米(小于1um)級以及深亞微米(小于0.18um)級,這樣,對半導(dǎo)體制造工藝中的超凈氣體的品質(zhì)要求越來越高,對這些氣體中微粒、雜質(zhì)及控制要求極為嚴(yán)格,已達(dá)到ppb、ppt級,塵埃粒徑要求控制小于0.1um的微粒,因此對超凈氣體的輸送管路系統(tǒng)的潔凈度提出了非常高的要求。特種氣體指出，工藝氣體中的雜質(zhì)對半導(dǎo)體制造的整個過程都有影響。如高溫處理中,重金屬微粒向硅的內(nèi)部侵人擴(kuò)散,誘發(fā)結(jié)晶缺陷,是導(dǎo)致半導(dǎo)體器件特性裂化的原因。腐蝕工序中,由于微粒附著在硅片處,將導(dǎo)致接觸部分和周圍的腐蝕加工精度降低。

熱處理工序中,堿金屬微粒使氧化膜與硅的界面特性產(chǎn)生異常，引起耐壓性差或電氣特性劣化。特種氣體指出，由于一旦該氣體輸送管道發(fā)生污染,將很難通過吹掃清除污染物,往往是更換掉被污染的管路,由于該系統(tǒng)造價昂貴,這樣造成的損失將很大,因此,超凈氣體管道系統(tǒng)潔凈度的要求甚至比對其純度的要求在某種程度上顯得更為重要。

電子器件行業(yè)發(fā)展前景樂觀  拉動特種氣體需求增長

2011-2016年，我國電子器件制造行業(yè)平穩(wěn)增長，到2016年市場規(guī)模達(dá)到16947.85億元；根據(jù)前瞻產(chǎn)業(yè)研究院發(fā)布的《2018-2023年中國特種氣體行業(yè)產(chǎn)銷需求與投資預(yù)測分析報告》初步估算，2017年達(dá)到17897.59億元。未來電子元器件正在向超微化、片式化、數(shù)字化、智能化、綠色化方向發(fā)展，由此可見，中國電子元器件行業(yè)發(fā)展前景樂觀，將在一定程度拉動特種氣體行業(yè)需求增長。

2011-2017年電子器件制造行業(yè)市場規(guī)模變化（單位：億元，%）

環(huán)保產(chǎn)業(yè)投資力度加大為特種氣體行業(yè)發(fā)展提供巨大動力

近年來，隨著中國經(jīng)濟(jì)的快速增長、人們環(huán)保意識的增強(qiáng)和環(huán)境保護(hù)工作力度的加大，中國環(huán)保產(chǎn)業(yè)取得了較大的發(fā)展。2017年，我國財政環(huán)境保護(hù)支出為4506億元，同比增長16.75%。在國家和各級不斷加大重視并持續(xù)增加支出，以及伴隨著工業(yè)發(fā)展產(chǎn)生的大量市場需求等方面因素的作用下，中國城市環(huán)保行業(yè)始終保持較快增長。

其中，作為環(huán)保產(chǎn)業(yè)的重要一環(huán)，與污水處理和大氣處理相比，中國目前固廢處理行業(yè)仍處于初始階段，產(chǎn)業(yè)化程度和市場集中度均非常低，投資規(guī)模的加大將為特種氣體行業(yè)的發(fā)展提供巨大的動力。