無塵車間潔凈室管理制度

1 半導體制造業(yè)必須在潔凈的環(huán)境中進行，在施工中必須遵循行業(yè)規(guī)則和程序。本文件列出了這些規(guī)則和程序的概要。為了保證項目的成功，現(xiàn)場的每一位人員都必須遵守。

2 圖紙上對于施工的潔凈建設草案將被強制執(zhí)行。這包括除了原料和成品倉庫以外的所有主廠房內的地方。

3 潔凈室施工管理制度目前主要針對一期主廠房內的局部改造和擴建，后期所有潔凈室施工項目仍按照本制度規(guī)定的原則進行管理。

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1.主要針對直到主要施工完成后。包括屋頂，覆層，門和窗戶。所有工人必須從圖紙上標明的通道進出施工現(xiàn)場。每個入口將會有清洗店。所有工人進入必須保持鞋子干凈。那種“小處節(jié)約大處浪費”的所謂捷徑和削減成本，會造成工廠的運行性能降低和能耗增加。不允許穿奇特的服裝，工人的衣服應該保持適當?shù)母蓛簟，F(xiàn)場安全規(guī)則必須時刻遵守。所有設備和材料必須從一個入口進入施工現(xiàn)場，并且保持干凈，不允許有碎片掉下。施工現(xiàn)場內不允許吃東西，吸煙，喝酒。 每班結束時，必須清走所有垃圾和廢舊物品?？傊?，整個施工現(xiàn)場每天必須保持干凈。

2．主要針對直到gridline B西邊潔凈區(qū)域的內墻完成。此時，只允許承包商雇傭的工人在潔凈區(qū)域。其他供應商如果要進入潔凈區(qū)域，必須提前向承包商提出申請，得到允許后方可進入。工人、設備和材料的入口是經(jīng)過威世半導體(西安)有限公司管理人員同意的。gridlines 1和2之間的通向成品倉庫的外門。設立自動化傳送系統(tǒng)，可減少人員方面所帶來的污染，唯費用相當昂貴，須詳加評估。gridlines 15和16之間的通向原料倉庫的外門。 其它入口必須經(jīng)過潔凈工程承包商的書面批準。兩個入口旁邊將會為很可能造成污染的材料準備或拆包預留區(qū)域。進如潔凈區(qū)域之前，材料和設備不允許有臟物或由掉下，并且應該用干凈的干布擦拭干凈。

無塵車間的監(jiān)測

1. 為確保無塵車間的凈化環(huán)境和無塵度，需對無塵車間定期監(jiān)測，監(jiān)測項目和頻次照有關規(guī)定。如有特殊要求，可另行規(guī)定。

2. 發(fā)現(xiàn)下列情況，空氣過濾器應予更換：

(1) 氣流速度降到低限度，即使更換初效和中效空氣過濾器后，氣流速度仍不能增大。

(2) 空氣過濾器風量為原風量的70%。

(3) 空氣過濾器出現(xiàn)無法修補的滲漏。

無塵車間潔凈度等級劃分標準

ISO 14644的本部分ISO分級的各級別,以此作為潔凈室及相關受控環(huán)境內空氣潔凈度的技術要求.本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測試的程序,而且確定了測試的標準方法.

為劃分等級,ISO 14644的本部分于確定粒子濃度限值用的粒徑范圍.本部分還提供了標準協(xié)議,以依據(jù)大于或小于分級用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級標識.  

ISO 14644的本部分為無塵車間和污染控制系列標準中的一個標準.除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設計、技術要求、運行和控制中予以考慮.