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發(fā)布時間:2021-09-17 02:23  
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脈沖激光沉積介紹
脈沖激光沉積也被稱為脈沖激光燒蝕(pulsed laser ablation,PLA),是一種利用激光對物體進行轟擊,然后將轟擊出來的物質(zhì)沉淀在不同的襯底上,得到沉淀或者薄膜的一種手段。
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脈沖激光沉積簡介
脈沖激光沉積,就是將激光聚焦于靶材上一個較小的面積,利用激光的高能量密度將部分靶材料蒸發(fā)甚至電離,使其能夠脫離靶材而向基底運動,進而在基底上沉積,從而形成薄膜的一種方式。 在眾多的薄膜制備方法中,脈沖激光沉積技術(shù)的應(yīng)用較為廣泛,可用來制備金屬、半導體、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物、硅化物、硫化物及氟化物等各種物質(zhì)薄膜,甚至還用來制備一些難以合成的材料膜,如金剛石、立方氮化物膜等。PLD450型脈沖激光鍍膜介紹沈陽鵬程真空技術(shù)有限責任公司——專業(yè)脈沖激光沉積供應(yīng)商,我們?yōu)槟鷰硪韵滦畔ⅰ?
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脈沖激光沉積系統(tǒng)配置介紹
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脈沖激光沉積系統(tǒng)配置:
生長室,進樣室可選水平、垂直兩種靶臺可選激光加熱和輻射加熱兩種樣品臺可選,激光加熱高的溫度1200℃工藝氣路可以任意搭配配備高壓RHEED,工作氣壓可達100Pa可預留法蘭,用于LEED,K-Cell, E-beam等其它可選項如臭氧發(fā)生器,離子源,掩膜系統(tǒng)等。脈沖激光沉積發(fā)展前景由脈沖激光沉積技術(shù)的原理、特點可知,它是一種極具發(fā)展?jié)摿Φ谋∧ぶ苽浼夹g(shù)。
PLD 主要選件
離子輔助沉積 (IBAD)系統(tǒng)介紹
離子輔助沉積已經(jīng)成為在無規(guī)取向的基片或無定形基片上沉積雙軸結(jié)構(gòu)薄膜的一種重要技術(shù)。Neocera 開發(fā)了離子輔助的PLD 系統(tǒng),該系統(tǒng)將PLD 在沉積復雜材料方面的優(yōu)勢與IBAD 能力結(jié)合在一起。
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