拆卸泵體后，發(fā)現(xiàn)一級(jí)和二級(jí)葉輪的軸向和圓周方向無(wú)磨損；相應(yīng)的泵體端蓋和泵隔膜沒(méi)有磨損。經(jīng)過(guò)檢查后，兩級(jí)葉輪之間的固定距離套筒的尺寸與圖紙沒(méi)有出現(xiàn)較大的偏差。因此，將轉(zhuǎn)子送到制造商處進(jìn)行動(dòng)平衡檢查和轉(zhuǎn)子跳動(dòng)檢查。泵軸彎曲變形，機(jī)械密封處的徑向跳動(dòng)為0.15mm，超過(guò)了機(jī)械密封的允許值減少0.05mm（見圖8），使機(jī)械密封小幅度地機(jī)械拍打，并形成周期性的軸向沖擊載荷，在更換新的機(jī)械密封一周后，石墨移動(dòng)環(huán)逐漸磨損。

        真空泵機(jī)組渦旋泵已被廣泛應(yīng)用于諸多領(lǐng)域:①半導(dǎo)體行業(yè):薄膜制造設(shè)備、半導(dǎo)體器件封裝設(shè)備;②科學(xué)儀器行業(yè):同步輻射光束線機(jī)、電子顯微鏡、真空泵機(jī)組極光試驗(yàn)設(shè)備、分析測(cè)試儀器;③機(jī)械設(shè)備行業(yè):材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備、真空過(guò)濾設(shè)備、材料提純?cè)O(shè)備、超高真空排氣設(shè)備;④行業(yè):儀器、透析機(jī);生物制品行業(yè):材料提純與藥品制備;⑤包裝行業(yè):食品、藥品、生物制品等包裝設(shè)備;⑥真空冶金行業(yè):真空爐、納米材料制備設(shè)備、真空檢測(cè)設(shè)備等領(lǐng)域。渦旋泵作為分子泵和小型低溫泵的前級(jí)泵是獲得無(wú)油真空系統(tǒng)的佳配置。它的主要運(yùn)動(dòng)件只有一個(gè)動(dòng)渦旋盤，因而動(dòng)力傳遞簡(jiǎn)單，相同尺寸下運(yùn)動(dòng)半徑小、零部件少、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、整機(jī)尺寸小，動(dòng)、靜渦旋盤之間、動(dòng)盤與泵腔之間間隙小，泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無(wú)摩擦，所以幾乎無(wú)磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，消耗功率小，氣體流動(dòng)損失小，工作可靠性高、壽命長(zhǎng)，易于維修，維修費(fèi)用低，容積。采用空氣冷卻，無(wú)需水冷。

        目前有兩代渦旋泵產(chǎn)品。代產(chǎn)品由于軸承密封隔離不是很好，不能做到完全無(wú)油，故不推薦使用。第二代產(chǎn)品是單級(jí)渦旋設(shè)計(jì)。只有一個(gè)軸承，軸承與真空腔隔離，完全無(wú)油。并且裝有控制系統(tǒng)，可變頻控制0、50、60、70Hz，故性能較好。產(chǎn)品不需要維修，2～3年更換密封件，維護(hù)方便、簡(jiǎn)單，具有較強(qiáng)的抽水蒸氣能力。BOC公司的渦旋泵在我國(guó)銷量達(dá)100臺(tái)/年左右。美國(guó)Varian公司:美國(guó)Varian公司1998年開發(fā)了渦旋泵，到目前已有三代渦旋泵產(chǎn)品。代產(chǎn)品已基本停產(chǎn)。第二通過(guò)技術(shù)改進(jìn)，形成了風(fēng)格的二級(jí)設(shè)計(jì):級(jí)是三渦旋線同時(shí)抽氣，可提高抽速，工作在從大氣壓到5．5×104Pa;第二級(jí)是單渦旋線，從5．5×104Pa到極限。一、二級(jí)同時(shí)工作，是真正的(從壓力角度區(qū)分的)兩級(jí)泵。第三代產(chǎn)品是在第二代產(chǎn)品上增加了控制系統(tǒng)。Varian公司的渦旋泵是其干式泵的主打產(chǎn)品，作為分子泵的前級(jí)主泵，不需要維修，2～3年更換密封件，維護(hù)方便、簡(jiǎn)單，因此在我國(guó)銷量達(dá)100臺(tái)/年以上。

1.定時(shí)查看油位是否符合干油標(biāo)線。如果比較低，那么要進(jìn)行加油，不然就會(huì)影響真空泵的真空度。油量也不要太多，不然也不好。

2.真空泵維修要多關(guān)注真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)正不正常，有沒(méi)有特殊聲響，設(shè)備有沒(méi)有超負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)，電機(jī)積真空泵的溫開高不高。

3.用水冷卻的真空泵，要避免冷卻水中斷，真空泵溫不能高于70度。若環(huán)境溫度比5度低，停機(jī)后應(yīng)將真空泵內(nèi)冷卻水放凈，以防真空泵體凍裂。

4.真空泵要保持清潔，并不能放其它物件。

5.真空泵維修注意皮帶松緊是不是適當(dāng).必要時(shí)應(yīng)調(diào)整或更換。

6.每年定期更換了1~3次真空泵油。