氦質(zhì)譜檢漏儀

支持正壓檢漏，負(fù)壓檢漏

自動(dòng)跟蹤本底，提供快速可靠的測(cè)量結(jié)果

優(yōu)化設(shè)計(jì)的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應(yīng)

高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦

支持氮?dú)馄瓶?，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底

機(jī)器的性能支持7*24小時(shí)長(zhǎng)時(shí)間在線測(cè)試

以上內(nèi)容由中科鼎新公司為您提供，希望對(duì)同行業(yè)的朋友有所幫助。

 

氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴(kuò)散原理

對(duì)子漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連，氦質(zhì)譜檢漏儀的真空度可能抽不上去，使氦質(zhì)譜檢漏儀無法工作。氦質(zhì)譜檢漏儀氫氣有些性能（如質(zhì)量小、易通過漏孔）比氦還好，然而由于氫一方面有危險(xiǎn)，另一方面在油擴(kuò)散泵中，由于油受熱裂解會(huì)產(chǎn)生大量的碳和氫，使氫本底極高且波動(dòng)大，以致靈敏度大大降低，所以很少采用。此種情況須加接輔助真空系統(tǒng)，提高對(duì)被檢件的抽速。的輔助真空系統(tǒng)只需一個(gè)機(jī)械泵和兩個(gè)閥門，復(fù)雜的系統(tǒng)可由前級(jí)泵、次級(jí)泵、閥門、真空規(guī)及標(biāo)準(zhǔn)漏孔等組成。次級(jí)泵可用擴(kuò)散系或羅茨泵，前級(jí)系氣鎮(zhèn)式機(jī)械泵。

標(biāo)準(zhǔn)漏孔的自身要符合相關(guān)的質(zhì)量要求。標(biāo)準(zhǔn)漏孔能自帶第三方的檢測(cè)證書。例如，美國(guó)國(guó)家計(jì)量院NIST；中國(guó)國(guó)家計(jì)量院，或有資質(zhì)的檢定機(jī)構(gòu)；德國(guó)的DKD等。氦質(zhì)譜檢漏儀氦在空氣中及真空系統(tǒng)殘余氣體中的含量（在空氣中約含5。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要通過有標(biāo)準(zhǔn)漏孔檢定資質(zhì)的第三方，進(jìn)行檢定。以此來保證標(biāo)準(zhǔn)漏孔本身沒有問題。標(biāo)準(zhǔn)漏孔要經(jīng)常檢定、校準(zhǔn)。建議每年進(jìn)行一次校準(zhǔn)。