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一個完整的廢氣凈化系統(tǒng)一般由五部分組成，它們是捕集污染氣體的廢氣收集裝置（集氣罩），連接系統(tǒng)各組成部分的管道，使污染氣體得以凈化的凈化裝置，為氣體流動提供動力的通風機，充分利用大氣擴散稀釋能力 減輕污染的煙囪。

燃燒法用于處理高濃度Voc與有惡臭的化合物很有效，其原理是用過量的空氣使這些雜質燃燒，大多數(shù)生成二氧化碳和水蒸氣，可以排放到大氣中。但當處理含氯和含硫的有機化合物時，燃燒生成產(chǎn)物中HCl或SO2，需要對燃燒后氣體進一步處理。等離子體就是處于電離狀態(tài)的氣體，其英文名稱是plasma，它是由美國科學 muir，于1927年在研究低氣壓下蒸氣中放電現(xiàn)象時命名的。等離子體由大量的子、中性原子、激發(fā)態(tài)原子、光子和自由基等組成，但電子和正離子的電荷數(shù)必須體表現(xiàn)出電中性，這就是“等離子體”的含義。

吸收法：一般采用物理吸收，即將廢氣引入吸收液進凈化，待吸收液飽和后經(jīng)加熱、解析、冷凝回收；本法適用于大氣量、低溫度、低濃度的廢氣處理，但需配備加熱解析回收裝置，設備體積大、投資較高。

納米微電解氧化法：納米微電解凈化技術采用納米級加工的壓電性材料，在具有一定濕度的情況下，可以通過微電解電場產(chǎn)生納米微電解材料的電性吸附并釋放出大量羥基負離子對氣體中的需氧類污染物進行凈化，不僅可以去除空氣中大部分有機物，而且還能分析如氨氮、等無機臭氣。

碳的氧化物：主要是CO和CO2，（CO)是低層大氣中的污染物之一，主要來源是化石燃料的燃燒，以及煉鐵廠、石灰窯、磚瓦廠、化肥廠的生產(chǎn)過程。二氧化碳(CO2)是動植物生命循環(huán)的基本要素，通常它不被看作是大氣的污染物。 就整個大氣而言，長期以來 CO2 濃度是保持平衡的。但是近幾十年，由于人類使用礦物燃料的數(shù)量激增、自然森林遭到大量破壞，已超出自然界能“消化”的限度。其對人類環(huán)境的影響，尤其對氣候的影響是不容低估的,的即“溫室效應'。