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發(fā)布時(shí)間:2020-12-04 15:56  
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新模式是徹底顛覆初中過(guò)濾的傳統(tǒng)模式,采用逆向液體高壓噴淋模式,同步動(dòng)態(tài)消毒、自動(dòng)除塵,形成交叉縱橫系統(tǒng),即為新風(fēng)進(jìn)入機(jī)組先是消毒、除塵,是避免管道積塵及二次污染;回風(fēng)進(jìn)入機(jī)組后,通過(guò)除塵、消毒后達(dá)標(biāo)排放。這樣在不影響空氣流量、壓力控制、過(guò)濾系統(tǒng)、溫度、濕度等一些列問(wèn)題,做到了恒效運(yùn)行、自動(dòng)除塵、節(jié)能減排及削減成本。

無(wú)塵車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定,在滿足加工工藝的條件下,應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。

潔凈廠房使用驗(yàn)收后,應(yīng)編寫(xiě)使用驗(yàn)收?qǐng)?bào)告,其主要內(nèi)容有:
1 潔凈廠房中各種設(shè)施(包括生產(chǎn)工藝設(shè)備)等的開(kāi)啟狀態(tài)描述;
2 測(cè)試的潔凈室(區(qū))人員及其活動(dòng)情況的描述;
3 分項(xiàng)測(cè)試記錄及分析意見(jiàn)(包括測(cè)試點(diǎn)位置、座標(biāo)等);
4 測(cè)試儀器的有效校驗(yàn)證書(shū);
5 驗(yàn)收出具相關(guān)結(jié)論。
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微電子C/R建設(shè)費(fèi)可能花費(fèi)到$10億。fab能更快的被建造起來(lái),產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場(chǎng)。許多半導(dǎo)體公司的口號(hào)是較便宜和較好的。然而“錢(qián)”將成為一個(gè)很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢(qián),而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動(dòng)或改變而不會(huì)招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計(jì)者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵,所以他們從不將一開(kāi)始的設(shè)計(jì)定型。

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