什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設定，MFC自動地將流量恒定在設定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體或者液體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。在被測流體處于壓力、溫度等參數(shù)變化很大的條件下，若僅測量體積流量，則會因為流體密度的變化帶來很大的測量誤差。

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流量控制器特點

1、 穩(wěn)定的流量供給，不受溫度、壓力變化

2、 寬量程比，可達100：1

3、 高達0.1%的重復性和1.0級的精度等級

4、 多參數(shù)顯示和輸出：溫度、壓力、流量等

5、 內(nèi)置70余種氣體，觸屏式直接操作切換，無需重新校準

6、 標配三種顯示方式：數(shù)字、模擬和本地面板

分析流量控制器的應用領域

分流器決定主通道的流量。與它配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源，數(shù)字電壓表，設定電位器，外設、內(nèi)設轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。質(zhì)量流量控制器抗干擾能力強，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點，且易清洗、具備自排空功能。三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩(wěn)定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓,適當調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。

其基本技術(shù)指標已達到先進水平，每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，多種輸出能滿足您的各種需求。可直接用來測量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。質(zhì)量流量計，即MassFlowMeter（縮寫為MFM）,是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。質(zhì)量流量控制器即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能

提高流量測量系統(tǒng)的可靠性用于安全聯(lián)鎖報警的流量儀表如果不可靠，應該聯(lián)鎖動作時不動作，容易釀成事故，不該動作時亂動作，容易導致不應有的停車，造成損失。工業(yè)爐窯中的燃料流量計如果不可靠，造成流路堵塞，容易導致爐子熄火，釀成事故。用于過程控制的質(zhì)量流量控制器儀表如果不可靠，容易為調(diào)節(jié)系統(tǒng)發(fā)出錯誤信息，導致調(diào)節(jié)系統(tǒng)失調(diào)，破壞生產(chǎn)過程的穩(wěn)定，影響產(chǎn)品的質(zhì)量、產(chǎn)量和物耗，造成損失?？梢钥闯?，流量儀表的可靠性是較為重要的。與熱式原理不同，ALICAT質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器采用層流壓差技術(shù)，依托專利的層流片結(jié)構(gòu)將氣體由湍流轉(zhuǎn)為層流運動，通過測量層流片兩端氣體壓力差的方法來測量流量。

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