石英撓性加速度計是測量線加速度的高精度傳感器,在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)中具有重要的作用。然而石英撓性加速度計在使用時容易導(dǎo)致石英擺片撓性梁的斷裂,磁感應(yīng)強度容易受時間、溫度等環(huán)境因素的影響導(dǎo)致測量產(chǎn)生不穩(wěn)定性現(xiàn)象。石英撓性加速度計的兩部分關(guān)鍵技術(shù):一方面根據(jù)石英擺片進行了受力計算和有限元應(yīng)力分析,改進了石英擺片的結(jié)構(gòu),并對石英擺片進行了加工實驗;另一方面對力矩器進行了設(shè)計,運用ANSYS分析得出了力矩器的磁場分布,并且驗證了工作間隙的磁感應(yīng)強度及電磁力的大小。

srj型石英撓性加速度計供應(yīng)商是根據(jù)慣性原理設(shè)計而成的精密型石英加速度傳感器。它將輸入加速度轉(zhuǎn)換成其撓性擺片的微小位移，并用反饋力加以平衡。由于采用了力反饋回路，使這種加速度計具有精度高、抗干擾能力強、測量范圍寬、過載能力強的特點，srj型石英撓性加速度計供應(yīng)商精度高、穩(wěn)定性好、分辨率高、重復(fù)性好、攜帶方便，被廣泛用于：隧道開鑿、深井測量、地質(zhì)鉆探、港務(wù)測量、高層建筑基坑、大壩、堤防、巖土邊坡等的傾斜測量，公路、鐵路、堤壩等的剖面沉降。

srj型石英撓性加速度計供應(yīng)商工作原理及結(jié)構(gòu)由溫度系數(shù)低導(dǎo)磁性能好的軟磁材料組成，磁鋼選用導(dǎo)磁性能比較良好的永磁資料，用無心磨床加工。撓性材料為溫度性能好的石英玻璃，外形選用超聲加工而成，撓性元件的加工一般選用化學(xué)腐蝕辦法；也可以選用反響離子蝕刻工藝加工整個撓性材料。srj型石英撓性加速度計供應(yīng)商產(chǎn)品具有量程較大，穩(wěn)定性能好，精度高，氣密性能好的特點，主要應(yīng)用在慣性導(dǎo)航系統(tǒng)，平臺慣導(dǎo)系統(tǒng)，并在航空、航天、艦船、慣性測量和制導(dǎo)等行業(yè)。

石英撓性加速度計溫控儀是加速度計生產(chǎn)調(diào)試過程中的關(guān)鍵設(shè)備,作用是為加速度計溫度系數(shù)的測試提供環(huán)境條件。為模擬加速度計的實際工作條件55±3℃，生產(chǎn)過程中必須在55±0.5℃范圍內(nèi)進行輸出信號的測試。石英撓性加速度計生產(chǎn)與應(yīng)用發(fā)展迅速，因此其相應(yīng)的溫度控制設(shè)備也非常重要。在溫度測控方面，分段PID加模糊PID控制方法得到了廣泛的應(yīng)用。模糊控制是以模糊集合論、模糊語言變量及模糊邏輯推理為基礎(chǔ)的計算機智能控制，模糊控制的核心部分是模糊控制器，其控制規(guī)律由計算機的程序?qū)崿F(xiàn)。一個模糊控制系統(tǒng)的性能優(yōu)劣主要取決于模糊控制器的結(jié)構(gòu)、所采用的模糊規(guī)則、合成推理算法以及模糊決策的方法等因素。srj型石英撓性加速度計供應(yīng)商系統(tǒng)中的閉環(huán)檢測電路。開發(fā)了基于單載波調(diào)制的電容檢測電路和伺服驅(qū)動電路，在功率放大電路前引入校正環(huán)節(jié)，提高加速度計系統(tǒng)的動靜態(tài)性能。實驗結(jié)果表明，電容檢測電路線性度好，分辨力可達到10-16 F量級，可檢測到的上限差值電容約為7 pF。