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OPTM光學(xué)膜測(cè)試常用解決方案「多圖」

發(fā)布時(shí)間:2020-11-27 07:28  

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測(cè)量示例:

SiO 2 SiN [FE-0002]的膜厚測(cè)量

半導(dǎo)體晶體管通過(guò)控制電流的導(dǎo)通狀態(tài)來(lái)發(fā)送信號(hào),但是為了防止電流泄漏和另一個(gè)晶體管的電流流過(guò)任意路徑,有必要隔離晶體管,埋入絕緣膜。 SiO 2(二氧化硅)或SiN(氮化硅)可用于絕緣膜。 SiO 2用作絕緣膜,而SiN用作具有比SiO 2更高的介電常數(shù)的絕緣膜,或是作為通過(guò)CMP去除SiO 2的不必要的阻擋層。之后SiN也被去除。 為了絕緣膜的性能和精準(zhǔn)的工藝控制,有必要測(cè)量這些膜厚度。



 










膜厚測(cè)試儀調(diào)校步驟:選擇要調(diào)校的產(chǎn)品程式;選擇菜單“調(diào)校---調(diào)校”開(kāi)始進(jìn)行“調(diào)?!逼聊蛔笙陆堑闹噶畲翱跁?huì)出現(xiàn),按“確定”結(jié)束調(diào)校。


膜厚儀測(cè)試時(shí)有關(guān)輻射安全注意事項(xiàng)

幅射安全方面膜厚儀由于使用X射線管而產(chǎn)生輻射。測(cè)量頭的設(shè)計(jì)完全符合國(guó)際X射線安全要求:  ·測(cè)量頭控制臺(tái)上的一個(gè)鑰匙開(kāi)關(guān)通過(guò)打開(kāi)或關(guān)閉X射線管上的高壓決定X幅射的產(chǎn)生與否;  ·一個(gè)多級(jí)故障自動(dòng)保險(xiǎn)互鎖系統(tǒng)可控制X幅射的產(chǎn)生,從而有效保護(hù)操作者的安全;  ·如果測(cè)量門(mén)沒(méi)有完全關(guān)閉,X幅射就不會(huì)進(jìn)入測(cè)量室;  ·足夠的遮罩用來(lái)減小外部的幅射量。


 膜厚儀廠家解釋凡其厚度與入射光波長(zhǎng)相比擬的并能引起干涉現(xiàn)象(相干光程小于相干長(zhǎng)度)的膜層為薄膜,其厚度遠(yuǎn)大于入射光波波長(zhǎng)的膜層稱之為厚膜。如今,微電子薄膜,光學(xué)薄膜,抗1氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導(dǎo)薄膜等在工業(yè)生產(chǎn)和人類生活中的不斷應(yīng)用,在工業(yè)生產(chǎn)的薄膜,其厚度是一個(gè)非常重要的參數(shù),直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。