超精密零件加工方法的特點(diǎn)：對(duì)外表層物質(zhì)去除或添加的量能夠作極細(xì)微的控制。但是要獲得超精密零件加工精度，仍有賴(lài)于精密的加工設(shè)備和準(zhǔn)確的克制系統(tǒng)，并采用超精密掩膜作中介物。4、機(jī)床本身的精度高、剛性大,能夠選擇適宜的加工用量，生產(chǎn)率更加有效。例如超大規(guī)模集成電路的制版即使采用電子束對(duì)掩膜上的光致抗蝕劑（見(jiàn)光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解)，再用顯影劑把聚合過(guò)的或未聚合過(guò)的部分溶解掉，制成掩膜。電子束曝射制版必要采用工作臺(tái)定位精度高達(dá)±0.01微米的超精密加工設(shè)備。

軸類(lèi)零件和盤(pán)類(lèi)零件的加工方式大部分都是車(chē)削，而套類(lèi)零件一般都用鏜削,復(fù)雜曲面的切削加工，主要采用仿形銑和數(shù)控銑的方法或特種加工方法。

典型表面的加工路線(xiàn)

（一）外圓表面的加工路線(xiàn)

1．粗車(chē)→半精車(chē)→精車(chē)：

      應(yīng)用較廣，滿(mǎn)足IT≥IT7，▽≥0.8外圓可以加工

2．粗車(chē)→半精車(chē)→粗磨→精磨：

     用于有淬火要求IT≥IT6，▽≥0.16 的黑色金屬。

3．粗車(chē)→半精車(chē)→精車(chē)→金剛石車(chē)：

     用于有色金屬、不宜采用磨削加工的外用表面。

4．粗車(chē)→半精車(chē)→粗磨→精磨→研磨、超精加工、砂帶磨、鏡面磨、或拋光在2的基礎(chǔ)上進(jìn)一步精加工。

目的為了減少粗糙度，提高尺寸精度，形狀和位置精度。

（二）孔的加工路線(xiàn)

1．鉆→粗拉→精拉：

    用于大批大量生產(chǎn)盤(pán)套類(lèi)零件的內(nèi)孔，單鍵孔和花鍵孔加工，加工質(zhì)量穩(wěn)定，生產(chǎn)效率較高。

2．鉆→擴(kuò)→鉸→手鉸：

    用于中小孔加工，擴(kuò)孔前糾正位置精度，鉸孔保證尺寸、形狀精度和表面粗糙度。

3．鉆或粗鏜→半精鏜→精鏜→浮動(dòng)鏜或金剛鏜

應(yīng)用：

     1）單件小批量生產(chǎn)中箱體孔隙加工。

     2）位置精度要求很高的孔系加工。

3）直徑比較大得孔ф80mm以上，毛坯上已有鑄孔或鍛孔。

4）有色金屬有金剛鏜來(lái)保證其尺寸，形狀和位置精度以及表面粗糙度的要求

4．/鉆（粗鏜）粗磨→半精磨→精磨→研磨或衍磨

     應(yīng)用：淬硬零件加工或精度要求高的孔加工。

   說(shuō)明：

      1）孔加工精度很大程度上取決于操作者的水平。

      2）特小孔加工采用特種加工方法。

制定零件加工工藝的基本原則

(1)精基面先i行原則。零件加工必須選合適的表面作為在機(jī)床或夾具上的定位基面。作為頭一道工藝定位基面的毛坯面，稱(chēng)為粗基面；經(jīng)過(guò)加工的表面作為定位基面的，稱(chēng)為精基面。主要的精基面應(yīng)先i行加工。

(2)粗精分開(kāi)原則。這就給機(jī)床設(shè)計(jì)與調(diào)整，刀具、砂輪的修整等方面帶來(lái)了一系列問(wèn)題。對(duì)精度要求較高的表面，一般應(yīng)在工件全部粗加工后再進(jìn)行精加工。這樣可消除工件在粗加工時(shí)因夾緊力、切削熱和內(nèi)應(yīng)力引起的變形，也有利于熱處理工序的安排；在大批量生產(chǎn)時(shí)，粗、精加工常在不同的機(jī)床上進(jìn)行，這也有利于高的精度機(jī)床的合理使用。

(3)“一次裝夾”原則。在單件、小批量生產(chǎn)中，有位置精度要求的有關(guān)表面應(yīng)盡可能在一次裝夾中進(jìn)行精加工。

精密機(jī)械零部件加工的精度:1.幾何形狀精度幾何形狀精度是指組成零件的各表面或軸線(xiàn)等幾何形狀的準(zhǔn)確程度，如線(xiàn)是否直、面是否平、圓柱上各正截面是否圓等。其允許變動(dòng)范圍以“形位公差”來(lái)表示，形位公差數(shù)字越小，則形狀精度越高。2.尺寸精度

尺寸精度是指零件加工后尺寸的準(zhǔn)確程度，以“尺寸公差”來(lái)表示。零件的尺寸相同時(shí)，精度越高，公差數(shù)字越小。3.位置精度

位置精度是指組成零件的各表面之間相互位置的準(zhǔn)確程度，如兩平面是否平行、垂直，兩軸線(xiàn)是否同軸，以“位置公差”來(lái)表示。