潔凈車間試驗(yàn)1.在潔凈車間的工程驗(yàn)收中，凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)在正常運(yùn)行24小時(shí)以上，然后再進(jìn)行各種性能試驗(yàn)。實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的操作。 2.測試儀器應(yīng)由具有相應(yīng)資質(zhì)的單元校準(zhǔn)，并在校準(zhǔn)的有效期內(nèi)進(jìn)行校準(zhǔn)。 3.潔凈室試驗(yàn)應(yīng)根據(jù)項(xiàng)目的驗(yàn)收階段分階段進(jìn)行。要檢查安裝的空氣過濾器的泄漏情況，測試潔凈室（區(qū)域）中高效空氣過濾器的完整性和安裝質(zhì)量，在安裝的空氣過濾器的上游側(cè)引入測試氣溶膠，并立即在供氣口和過濾器掃描泄漏檢測在設(shè)備周邊，外框和安裝框架之間的密封處進(jìn)行?？⒐を?yàn)收階段的檢驗(yàn)確認(rèn)設(shè)施符合工程設(shè)計(jì)和合同的要求;功能驗(yàn)收階段的檢查確認(rèn)所有設(shè)施都能有效可靠地運(yùn)行;驗(yàn)收階段的檢查基于構(gòu)造函數(shù)指1定的生產(chǎn)過程。 “動態(tài)”活動需要確認(rèn)設(shè)施的有效和可靠運(yùn)行。

如何使?jié)崈羰腋?jié)能在潔凈室中有許多節(jié)能的地方，如供暖，通風(fēng)和空調(diào)（HVAC），過程冷卻，壓縮空氣和一些其他設(shè)施。 HVAC系統(tǒng)消耗的電量超過整個(gè)晶圓制造設(shè)施的一半。大量浪費(fèi)的電力和HVAC容量過剩的原因主要是由于設(shè)備的設(shè)計(jì)和建造的捷徑，盡可能地壓縮初始投資，而不管后期的運(yùn)營成本。的設(shè)計(jì)和的設(shè)備需要大量的前期投資。3、車間的地面、墻面、頂面及門窗：凈化車間的地面要用防滑、堅(jiān)固、不滲水、易清潔、耐腐蝕的材料鋪制，車間地面表面要平坦，不積水。所謂的快捷方式和“節(jié)省大量廢物的小地方”的成本降低將導(dǎo)致工廠性能降低和能源消耗增加。

潔凈車間設(shè)計(jì)須知：

　　其一、系統(tǒng)設(shè)計(jì)：室內(nèi)的空氣凈化系統(tǒng)可分為水平層流、垂直層流和亂流，選擇氣流形式一是要參照慣例，二是要取決于房間的工作參數(shù)。

　　其二、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)：為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進(jìn)行結(jié)時(shí)期以設(shè)計(jì)，必要的謹(jǐn)慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。

　   其三、潔凈度與換氣次數(shù)設(shè)計(jì)：房間的潔凈度取決于單位時(shí)間的換氣次數(shù)，因此慎密考慮房間的工作性質(zhì)、以及生產(chǎn)工要求，再決定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)?！?

振動控制

　　潔凈廠房和周圍輔助性站房內(nèi)有強(qiáng)烈振動的設(shè)備(包括水泵等)及其通往潔凈室的管道，應(yīng)采取積極隔振措施。

　　對潔凈廠房內(nèi)外各類振源，應(yīng)測定其對潔凈廠房的綜合振動影響。如受條件限制，也可根據(jù)經(jīng)驗(yàn)對綜合振動影響進(jìn)行評價(jià)。并應(yīng)與精密設(shè)備、精儀器儀表的允許環(huán)境振動值進(jìn)行比較，以確定對其采取必要的隔振措施。

　　精密設(shè)備、精密儀器儀表的隔振措施，應(yīng)考慮減少發(fā)生量、保持潔凈室內(nèi)合理的氣流組織等要求。當(dāng)采用空氣1彈簧隔振臺座時(shí)，應(yīng)地氣源進(jìn)行處理，使其達(dá)到潔凈室的空氣潔凈度等級。