光波超精密——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌平臺

目前，國內(nèi)外大多數(shù)精密測量設(shè)備均以空氣靜壓導(dǎo)軌為精密運(yùn)動部件，而以氣動靜壓花崗巖導(dǎo)軌為參數(shù)適應(yīng)性控制方式，其位置控制精度可達(dá)到 /-15納米。

由于精密測量儀要求摩擦熱小，不需要太大的載荷，所以主要采用空氣靜壓導(dǎo)軌來構(gòu)成高精度的直線運(yùn)動機(jī)構(gòu)。因此測試儀的導(dǎo)板采用空氣靜壓導(dǎo)軌。

凡是能夠同時承受軸向、徑向或其他方向力的氣體支撐裝置，就是所謂的氣體靜壓組合裝置。氣靜壓力導(dǎo)軌是一種典型的組合氣靜裝置。由于工作臺的移動量，載重量及精度要求不同，

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌平臺

安裝時，無論是直線導(dǎo)軌還是平面導(dǎo)軌，安裝都比較簡單，但由于直線導(dǎo)軌橫截面的形狀是以幾何形式呈現(xiàn)的，這種形狀比平面導(dǎo)軌橫截面的形狀要大得多，其原因就在于直線導(dǎo)軌的導(dǎo)軌需要加工溝槽，從而借助溝槽的幫助，才能實(shí)現(xiàn)滑動元件的平穩(wěn)滑動。

直線導(dǎo)軌可以承受直線部分或其他方向的作用力，這類設(shè)計(jì)，也是直線導(dǎo)軌與平面導(dǎo)軌zui大的區(qū)別之一，所以在選購時也要十分注意這一點(diǎn)。

閉式靜壓導(dǎo)軌的特點(diǎn)是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強(qiáng)；

氣膜的剛度較高，因此對于導(dǎo)軌本身結(jié)構(gòu)的剛度要求也較高；

(3)導(dǎo)軌的制作和調(diào)整較為復(fù)雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般采用不等面積氣腔結(jié)構(gòu)。

根據(jù)安裝特點(diǎn)，氣浮導(dǎo)軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預(yù)載式。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——三坐標(biāo)氣浮導(dǎo)軌平臺

節(jié)流器的選擇和設(shè)計(jì)是氣浮導(dǎo)軌設(shè)計(jì)的關(guān)鍵。風(fēng)門型式對氣動導(dǎo)軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節(jié)流器類型以小孔節(jié)流、環(huán)面節(jié)流和狹縫節(jié)流形式應(yīng)用zui多；多孔質(zhì)和環(huán)面淺腔節(jié)流是兩種較新的節(jié)流形式，具有承載能力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)，但對多孔質(zhì)節(jié)流器而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數(shù)的影響，而滲透系數(shù)主要由多孔質(zhì)材料自身的特性決定，因此，其具體數(shù)值難以確定。環(huán)面式淺腔節(jié)流設(shè)計(jì)時，淺腔結(jié)構(gòu)的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節(jié)流器的應(yīng)用。剩下的節(jié)流形式，在實(shí)際中很少使用。