真空鍍膜機(jī)的陰極電弧技術(shù)

真空鍍膜機(jī)的陰極電弧技術(shù)是利用真空環(huán)境下的弧光放電，使固體陰極靶材蒸發(fā)、離化并通過(guò)等離子體的強(qiáng)化作用，飛向陽(yáng)極基體表面沉積成膜的技術(shù)。正因?yàn)槿绱?，陰極電弧技術(shù)具有極高的沉積速率。

在含有惰性氣體或反應(yīng)氣體的真空環(huán)境下沉積在基體表面，具有高能量的離子束對(duì)于提高膜基結(jié)合力和打亂膜的柱狀晶結(jié)構(gòu)是非常有利的，從而也可大幅度改善膜的組織結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能。目前，各薄膜設(shè)備制造商通過(guò)對(duì)成膜原理和工藝的研究采用各種不同的措施來(lái)減少“液滴”的產(chǎn)生。

其中BAI1200、RCS是采用圓形平面陰極源技術(shù)和輻射加熱技術(shù),可進(jìn)行快速鍍膜生產(chǎn)。利用該工藝制備的TiAlN可增強(qiáng)加工工具切削刃的穩(wěn)定性，并使干切削加工成為可能。

維修真空鍍膜機(jī)一定要按照步驟操作

日常生活中，我們使用真空鍍膜設(shè)備都會(huì)維護(hù)，但是很多人維護(hù)的方法都很不對(duì)，也不按照步驟來(lái)拆卸和安裝真空鍍膜機(jī)，今天我們就來(lái)介紹下真空鍍膜機(jī)的維護(hù)步驟吧：

首先我們要保證鍍膜機(jī)與地面充分接觸，擴(kuò)散泵和油增壓泵加熱前必須接通冷卻水并開(kāi)維持泵。擴(kuò)散泵和增壓泵停止工作，維持泵半小時(shí)后才能關(guān)，1小時(shí)后斷水，但泵內(nèi)未冷卻至80℃以下時(shí)，不得切斷冷卻水，以防止泵芯燒毀。

擴(kuò)散泵和增壓泵各留有備用水出口，若鍍膜機(jī)故障或停電必須開(kāi)備用出口讓其冷卻擴(kuò)散泵和增壓泵，鍍膜工作前必須接通全部設(shè)備冷卻進(jìn)水，以防止電極和基體材料燒毀。擴(kuò)散泵和油增壓泵在加熱情況下，切勿與大氣接觸，以免泵油氧化，定期檢查和調(diào)整水流繼電器，檢查斷水報(bào)警是否正常，保證設(shè)備冷卻水供水暢通，在拆裝鍍膜機(jī)各機(jī)件時(shí)，應(yīng)注意保護(hù)各密封工作面不受機(jī)械劃傷或損傷，以保證鍍膜設(shè)備密封性能可靠。

設(shè)備各傳動(dòng)轉(zhuǎn)軸真空密封處均采用“骨架式油封”密封形式，骨架式油封內(nèi)間均充以飽和油蒸汽壓很低的真空油脂和擴(kuò)散泵油。使用一段時(shí)間即會(huì)損耗，必須以相同的真空油脂和擴(kuò)散泵油充入，決不能用其他油品代替。

真空鍍膜機(jī)真空室形變帶來(lái)的影響

為盡量減小真空鍍膜機(jī)真空室形變帶來(lái)的影響，我們將導(dǎo)軌、絲桿等傳動(dòng)件固定于一個(gè)剛性的中間層上，其與真空室底壁之間采用點(diǎn)、線、面活性支撐，以吸收和隔離形變，并設(shè)置形變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，在系統(tǒng)抽真空之前，參照有限元計(jì)算提供的理論數(shù)據(jù)預(yù)設(shè)適當(dāng)?shù)难a(bǔ)償量，以使其在真空狀態(tài)下達(dá)到平衡。

為了驗(yàn)證有限元計(jì)算的結(jié)果，對(duì)真空室的形變和補(bǔ)償進(jìn)行了測(cè)試。首先，將四只千分表定位在工作臺(tái)安裝基點(diǎn)的真空壁外側(cè)，當(dāng)真空室由大氣抽到真空時(shí)，記錄各千分表的變化量，經(jīng)處理后為用激光自準(zhǔn)直儀調(diào)整設(shè)備形變補(bǔ)償。

由水平調(diào)整的自準(zhǔn)直儀發(fā)出一束激光穿過(guò)真空室的玻璃窗照射固定于工作臺(tái)上的反射鏡，在大氣環(huán)境下調(diào)整設(shè)備形變補(bǔ)償調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，使反射光束進(jìn)入自準(zhǔn)直儀接收視場(chǎng)，記錄兩維角度偏差。

按有限元計(jì)算的真空狀態(tài)下的補(bǔ)償量再次調(diào)整，顯然，此時(shí)的反射光束已遠(yuǎn)離自準(zhǔn)直儀接收視場(chǎng)，但一旦真空室進(jìn)入真空狀態(tài)，反射光束又重新進(jìn)入自準(zhǔn)直儀的接收視場(chǎng)，記錄此時(shí)的兩維角度偏差。前后兩次顯示的兩維角度偏差基本吻合。

工作臺(tái)運(yùn)動(dòng)副的潤(rùn)滑及對(duì)真空環(huán)境的影響工作臺(tái)的掃描是處于真空室環(huán)境下的頻繁運(yùn)動(dòng)，除用滾動(dòng)代替滑動(dòng)來(lái)降低摩擦系數(shù)外，在導(dǎo)軌、絲桿等運(yùn)動(dòng)副之間采取良好的潤(rùn)滑是保證刻蝕裝置長(zhǎng)時(shí)間正常運(yùn)行的必要條件。

真空中的潤(rùn)滑的方式通常有鍍固體潤(rùn)滑膜和直接使用潤(rùn)滑劑等鍍膜容易破壞導(dǎo)軌的運(yùn)動(dòng)精度，且工藝復(fù)雜。

為此，我們測(cè)試了一種市場(chǎng)商品――二硫化鉬潤(rùn)滑劑的潤(rùn)滑效果，將該潤(rùn)滑劑直接噴涂在運(yùn)動(dòng)副表面，并用四極質(zhì)譜儀分析了該潤(rùn)滑劑在真空中揮發(fā)出的氣體的主要成分。