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1、防止返油的措施：

(1)在泵入口管路上設(shè)置放氣閥，使入口壓力維持在10Pa以上，這樣可以減少返流的98%。

(2)對(duì)于單級(jí)泵，在泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)打開(kāi)氣鎮(zhèn)閥就能很好的防止有的返流。

(3)在泵的入口設(shè)置吸附阱，依靠吸附劑吸返流蒸汽。

(4)使用特殊泵油。

2.泵的啟動(dòng)與停止：電源線連接、電磁放氣閥、空氣隔離閥。

3.泵油的過(guò)濾與更換：過(guò)濾器。注意泵油量、顏色、狀態(tài)的改變。

4.油霧的產(chǎn)生與分離。

間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤(rùn)滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開(kāi)線和擺線等。漸開(kāi)線轉(zhuǎn)子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開(kāi)線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達(dá)3450～4100轉(zhuǎn)/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭?jí)為6.5×10-2帕，雙級(jí)為1×10-3帕。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級(jí)泵的極限真空。為了提高泵的極限真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。

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設(shè)計(jì)要點(diǎn)

在復(fù)合分子泵的設(shè)計(jì)中，必須處理好渦輪級(jí)與牽引級(jí)之間的應(yīng)配和銜接關(guān)系。由于渦輪級(jí)有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級(jí)溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構(gòu)的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來(lái)的氣體分子的流動(dòng)方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運(yùn)動(dòng)在聯(lián)接處由有序變成無(wú)序，至使返流增加，抽氣能力下降。因此，在設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)在渦輪級(jí)和牽引級(jí)轉(zhuǎn)換處加上過(guò)渡級(jí)結(jié)構(gòu)，以提高泵的抽氣性能。隨著復(fù)合分子泵的不斷改進(jìn)，其應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣，在某些抽氣系統(tǒng)上可以替代擴(kuò)散泵，縮短了系統(tǒng)的抽氣時(shí)間，并可獲得無(wú)油污染的清潔真空環(huán)境。