凈化工程復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。

　　潔凈隧道(Clean

Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域百1分百覆蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)提高至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)費(fèi)用。此型式需將作業(yè)人員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響工作及品質(zhì)。ULSI制程大都采用此種型式。參考兩個(gè)城市，一個(gè)試驗(yàn)證實(shí)，相對(duì)濕度的3%的變異將使保護(hù)厚度改變59。

　　潔凈隧道另有二項(xiàng)優(yōu)點(diǎn)：

　　A.彈性擴(kuò)充容易;

　　B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)輕易執(zhí)行。

　　凈化工程解決方案：對(duì)于以微生物為控制對(duì)象的生物潔凈室(例如：生物制藥、潔凈手術(shù)室、無菌室、生物安全實(shí)驗(yàn)室、實(shí)驗(yàn)無菌動(dòng)物飼養(yǎng)室等)其重點(diǎn)要控制微生物的產(chǎn)生和傳播，因?yàn)槌睗窈退质俏⑸镒躺头敝车臈l件，因此水加濕的淋水、濕膜、高壓噴霧等方法不能用在生物潔凈室中，只能采用干蒸汽加濕和電極(電熱)式加濕。PCB廠內(nèi)層無塵室里的濕度潔凈是多少相對(duì)濕度是潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件。

      無塵室標(biāo)準(zhǔn)溫濕度是多少?

      這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)要根據(jù)你的無塵室用途和生產(chǎn)的產(chǎn)品來決定，比如電子類產(chǎn)品有些膠到24攝氏度就會(huì)明顯地液化，沒法用了，那使用這種膠的無塵室溫度范圍肯定要低，濕度也是類似的。

      也就是說，決定溫濕度標(biāo)準(zhǔn)的是你的產(chǎn)品、工藝要求，而不是無塵室本身。無塵室要根據(jù)你的用途需求來進(jìn)行設(shè)計(jì)，滿足你的溫濕度要求。沒有完全統(tǒng)一的無塵室溫濕度標(biāo)準(zhǔn)。