湖北豐熱科技有限公司（原武漢離子熱處理研究所），專(zhuān)業(yè)制造輝光離子滲氮爐的高新技術(shù)企業(yè)；是集研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售安裝輝光離子滲氮爐，并為用戶(hù)提供成套的離子滲氮工藝技術(shù)服務(wù)。

離子滲氮是在真空室內(nèi)進(jìn)行的，工件接高壓直流電源的負(fù)極，真空鐘單接正極。將真空室的真空度抽到66.67Pa后，充人少量氮?dú)饣驓錃狻⒌獨(dú)獾幕旌蠚怏w。從上個(gè)世紀(jì)末，國(guó)內(nèi)許多單位如科羅納實(shí)驗(yàn)室、清華大學(xué)、大連理工大學(xué)、華北電力大學(xué)、西安交通大學(xué)、華中科技大學(xué)、中科院物理所、河北師范大學(xué)等先后開(kāi)始了對(duì)APGD的研究。當(dāng)電壓調(diào)整到400~800V時(shí)，氮即電離分解成氮離子、氫離子和電子，并在工件表面產(chǎn)生輝光放電現(xiàn)象。正離子受電場(chǎng)作用加速轟擊工件表面，使工件升溫到滲氮溫度。氮離子在鋼件表面獲得電子，還原成氮原子而滲人鋼件表面并向內(nèi)部擴(kuò)散，形成滲氮層。

采用不同成分的放電氣體，可以在金屬表面滲入不同的元素。離子滲氮是在真空室內(nèi)進(jìn)行的，工件接高壓直流電源的負(fù)極，真空鐘單接正極。和普通化學(xué)熱處理相同，根據(jù)滲入元素的不同，有離子滲碳、離子滲氮、離子碳氮共滲、離子滲硼、離子滲金屬等等。其中離子滲氮已在生產(chǎn)中廣泛地應(yīng)用。低壓氣體中顯示輝光的氣體放電(空氣中的電子大概在1000對(duì)/cm3，由于高壓放電現(xiàn)象在低氣壓狀態(tài)下會(huì)產(chǎn)生輝光現(xiàn)象）現(xiàn)象。

濺射靶起輝放電后，當(dāng)電源的輸出脈沖的重復(fù)頻率足夠高時(shí)，由于真空腔體內(nèi)的導(dǎo)電離子還沒(méi)有完全被中和完畢，第二個(gè)(以后)重復(fù)脈沖的復(fù)輝電壓與濺射靶的工作電壓接近或相同。離子滲氮是在低真空含氮?dú)夥罩?，利用模具（陰極）和陽(yáng)極之間產(chǎn)生的輝光放電進(jìn)行滲氮的工藝，與氣體滲氮相比工作環(huán)境好。當(dāng)電源輸出脈沖的重復(fù)頻率很低(例如幾百HZ以下)或滅弧時(shí)間過(guò)長(zhǎng)(大于100ms以上)，濺射靶起輝放電后，由于真空腔體內(nèi)的導(dǎo)電離子已基本被中和掉，第二個(gè)(以后)重復(fù)脈沖的復(fù)輝電壓恢復(fù)至較高數(shù)值，與點(diǎn)火起輝時(shí)的高電壓接近或相同。??

Roth等人用離子捕獲原理解釋APGD，即當(dāng)所用工作電壓頻率高到半個(gè)周期內(nèi)可在極板之間捕獲正離子，又不高到使電子也被1捕獲時(shí)，將在氣體間隙中留下空間電荷，它們影響下半個(gè)周期放電，使所需放電場(chǎng)強(qiáng)明顯降低，有利于產(chǎn)生均勻的APGD。