根據(jù)加工方法的機(jī)理和特點(diǎn)，精密和超精密加工方法，可以分為去除加工、結(jié)合加工和變形加工三大類。

（1）去除加工。又稱為分離加工，是從工件上去除一部分材料，傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法，如車削、銑削、磨削、研磨和拋光等，以及特種加工中的電火花加工、電解加工等，均屬這種加工方法。

（2）結(jié)合加工。利用物理和化學(xué)方法，將不同材料結(jié)合(bonding)在一起。按結(jié)合的機(jī)理、方法、強(qiáng)弱等，它又分為附著、注入(injection)和連接(jointed)三種。

（3）變形加工。又稱為流動加工，利用力、熱、分子運(yùn)動等手段，使工件產(chǎn)生變形，改變其尺寸、形狀和性能。

由于超精密加工的精度等級和表面質(zhì)量都很高，因此，一定要有相應(yīng)的檢測手段，才能驗(yàn)證工件是否達(dá)到了相應(yīng)的技術(shù)要求。在精密超精密加工和測量中，對測量技術(shù)提出了更為嚴(yán)格的要求，即要求測量誤差比加工誤差高一個數(shù)量級。目前，超精密測量儀正向高分辨力、高準(zhǔn)確度和高可靠性的方向發(fā)展。公司發(fā)展了分辨率均可以達(dá)到1?nm的測量元件；美國HP、zygo、英國Taylor等公司的測量儀器均可以滿足納米測量的需求。制造業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是先進(jìn)制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。