鍍膜技術(shù)在光學(xué)儀器中的應(yīng)用

      人們熟悉的光學(xué)儀器有望遠(yuǎn)鏡、顯微鏡、照相機(jī)、測(cè)距儀，以及日常生活用品中的鏡子、眼鏡、放大鏡等，它們都離不開鍍膜技術(shù)，鍍制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等幾種。

   

1. 真空

在空間內(nèi)，低于環(huán)境大氣壓力的氣體狀態(tài)。

2. 真空度

表示真空狀態(tài)下氣體的稀薄程度，通常用壓力值來表示。

3. 真空區(qū)域劃分

低真空 105Pa-102Pa

中真空 102Pa-10-1Pa

高真空 10-1Pa-10-5Pa

超高真空 10-5Pa-10-9Pa

極高真空 <10-9Pa

4. 全壓力

混合氣體中所有組分壓力的綜合。

真空鍍膜機(jī)是指需要在各種高真空狀態(tài)下進(jìn)行的涂層，包括真空離子蒸發(fā)、磁控濺射、MBE分子束外延、PLD激光濺射沉積組成。

真空鍍膜機(jī)也是目前制造真空條件使用的真空設(shè)備，一般由真空室、真空機(jī)、電控盒三部分組成。鍍膜設(shè)備的清洗：設(shè)備使用一周后，涂層材料不僅涂在工件表面，而且由于不定向，還涂在工作室的襯板上，涂層厚度越來越厚。這一層的膜厚由于組織和纏繞而松散，吸收了大量氣體，導(dǎo)致真空鍍膜設(shè)備泵送越來越慢，所以這個(gè)時(shí)候工作室和襯板都要清理干凈。如果不必要地拆下零件，可以用砂紙打磨。而對(duì)于空間紅外輻射，普通玻璃雖能阻止室內(nèi)的熱量直接透過室外，但熱量被玻璃吸收后的二次散熱也會(huì)造成很大的損失。

真空鍍膜設(shè)備膜層附著力不良：(1)鍍件除油脫脂不干凈。應(yīng)加強(qiáng)鍍前處理。怎么保證真空鍍膜設(shè)備鍍膜效果與質(zhì)量真空鍍膜主要指一類需要在較高真空度下進(jìn)行的鍍膜。(2)真空室內(nèi)不清潔。應(yīng)清洗真空室。值得注意的是，在裝靶和拆靶的過程中，嚴(yán)禁用手或不干凈的物體與磁控源接觸，以保證磁控源具有較高的清潔度，這是提高膜層結(jié)合力的重要措施之一。(3)夾具不清潔。應(yīng)清洗夾具。(4)底涂料選用不當(dāng)。應(yīng)更換涂料。(5)濺射工藝條件控制不當(dāng)。應(yīng)改進(jìn)濺射工藝條件。