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發(fā)布時(shí)間:2021-09-01 20:07  
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真空鍍膜設(shè)備離子鍍膜上的方法
真空鍍膜設(shè)備多弧離子鍍膜上的方法,所謂多弧離子鍍膜就是置待鍍材料和被鍍基板于室內(nèi),真空鍍膜機(jī)多弧離子鍍膜采用一定方法加熱待鍍材料,使之蒸發(fā)或升華,并飛行濺射到被鍍基板表面凝聚成膜的工藝。
多弧離子鍍膜的方法,在條件下成膜有很多優(yōu)點(diǎn),可減少蒸發(fā)材料的原子、分子在飛向基板過程中于分子的碰撞,減少氣體中的活性分子和蒸發(fā)源材料間的化學(xué)反應(yīng)(如氧化等),以及減少成膜過程中氣體分子進(jìn)入薄膜中成為雜質(zhì)的量,從而提供膜層的致密度、純度、沉積速率和與基板的附著力。
真空鍍膜設(shè)備多弧離子鍍膜工藝不僅避免了傳統(tǒng)表面處理的不足,且各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)都優(yōu)于傳統(tǒng)工藝,在五金、機(jī)械、化工、模具、電子、儀器等領(lǐng)域有廣泛應(yīng)用。催化液和傳統(tǒng)處理工藝相比,在技術(shù)上有哪些?
1、多弧離子鍍膜不用電、降低了成本、成本僅為多弧離子鍍膜鎳的二分之一,真空鍍膜機(jī)多弧離子鍍膜鉻的三分之一,不銹鋼的四分之一,可反復(fù)利用,大大降低了成本。
2、多弧離子鍍膜易操作、工藝簡(jiǎn)單、把金屬基件浸入兌好的液體中“一泡即成”,需要再加工時(shí)不經(jīng)任何處理。
多弧離子PVD鍍膜設(shè)備鍍工藝及應(yīng)用
離子鍍基本工藝流程
①工件的預(yù)熱.
一般的離子鍍方法使用烘烤加熱裝置對(duì)工件進(jìn)行加熱,而熱陰極離子鍍則是利用等離子電子束轟擊工件;電弧離子鍍是利用金屬離子轟擊工件,對(duì)工件加熱,達(dá)到預(yù)熱的目的,有時(shí)電弧離子鍍也采用輔助烘烤加熱裝置對(duì)工件進(jìn)行預(yù)熱。
②離子轟擊濺射清洗.
一般離子鍍的離子轟擊濺射清洗是基片施加負(fù)偏壓,利用輝光放電產(chǎn)生的Ar離子轟擊基片,對(duì)基片進(jìn)行離子轟擊濺射清洗,而熱陰極離子鍍是利用等離子電子束轟擊輔助陽級(jí),Ar離子轟擊基片進(jìn)行離子轟擊濺射清洗;電弧離子鍍是利用金屬離子轟擊工件,對(duì)工件加熱的同時(shí)對(duì)工件進(jìn)行離子轟擊濺射清洗。
③離子沉積.
不同的離子鍍方法在離子沉積時(shí),所使用的源和離化方法不同,具體的設(shè)備不同,沉積的膜層不同,其工藝程序和工藝參數(shù)也不同,因此,應(yīng)根據(jù)具體情況確定沉積的工藝程序和工藝參數(shù),還應(yīng)注意在整個(gè)沉積過程中保持工藝參數(shù)的穩(wěn)定。
磁控濺射真空鍍膜機(jī)的主要用途有哪些
磁控濺射技術(shù)在市場(chǎng)上運(yùn)用非常廣泛,也受到了眾多商家的采納,自然磁控濺射真空鍍膜機(jī)也被眾多商家認(rèn)可,下面至成真空小編為大家詳細(xì)介紹一下磁控濺射真空鍍膜機(jī)的主要用途:
(1)各種功能性薄膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏光等作用的薄膜。例如,低溫沉積氮化硅減反射膜,以提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。
(2)裝飾領(lǐng)域的應(yīng)用,如各種全反射膜及半透明膜等,如手機(jī)外殼,鼠標(biāo)等。
(3)在微電子領(lǐng)域作為一種非熱式鍍膜技術(shù),主要應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積(CVD)或金屬有機(jī)
(4)化學(xué)氣相沉積(CVD)生長(zhǎng)困難及不適用的材料薄膜沉積,而且可以獲得大面積非常均勻的薄膜。
(5)在光學(xué)領(lǐng)域:中頻閉合場(chǎng)非平衡磁控濺射技術(shù)也已在光學(xué)薄膜(如增透膜)、低輻射玻璃和透明導(dǎo)電玻璃等方面得到應(yīng)用。特別是透明導(dǎo)電玻璃目前廣泛應(yīng)用于平板顯示器件、太陽能電池、微波與射頻屏蔽裝置與器件、傳感器等。
(6)在機(jī)械加工行業(yè)中,表面功能膜、超硬膜,自潤(rùn)滑薄膜的表面沉積技術(shù)自問世以來得到長(zhǎng)足發(fā)展,能有效的提高表面硬度、復(fù)合韌性、耐磨損性和抗高溫化學(xué)穩(wěn)定性能,從而大幅度地提高涂層產(chǎn)品的使用壽命。
磁控濺射除上述已被大量應(yīng)用的領(lǐng)域,還在高溫超導(dǎo)薄膜、鐵電體薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜發(fā)光材料、太陽能電池、記憶合金薄膜研究方面發(fā)揮重要作用
光學(xué)真空鍍膜機(jī)薄膜根據(jù)其用途分類、特性與應(yīng)用可分為哪些膜
光學(xué)真空鍍膜機(jī)薄膜根據(jù)其用途分類、特性與應(yīng)用可分為:反射膜、增透膜/減反射膜、濾光片、偏光片/偏光膜、補(bǔ)償膜/相位差板、配向膜、擴(kuò)散膜/片、增亮膜/棱鏡片/聚光片、遮光膜/黑白膠等。相關(guān)衍生的種類有光學(xué)級(jí)保護(hù)膜、窗膜等。
光學(xué)真空鍍膜機(jī)光學(xué)薄膜的特點(diǎn)是:表面光滑,膜層之間的界面呈幾何分割;膜層的折射率在界面上可以發(fā)生躍變,但在膜層內(nèi)是連續(xù)的;可以是透明介質(zhì),也可以是吸收介質(zhì);可以是法向均勻的,也可以是法向不均勻的。實(shí)際應(yīng)用的薄膜要比理想薄膜復(fù)雜得多。這是因?yàn)椋褐苽鋾r(shí),薄膜的光學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)偏離大塊材料,起表面和界面是粗糙的,從而導(dǎo)致光束的漫反射;膜層之間的相互滲透形成擴(kuò)散界面;由于膜層的生長(zhǎng)、結(jié)構(gòu)、應(yīng)力等原因,形成了薄膜的各種向異性;膜層具有復(fù)雜的時(shí)間效應(yīng)。
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