真空爐一般由主機(jī)、爐膛、電熱裝置、密封爐殼、真空系統(tǒng)、供電系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)和爐外運(yùn)輸車等組成。密封爐殼用碳鋼或不銹鋼焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封?，F(xiàn)在國(guó)際上已有2-20bar的真空高壓氣淬爐，可以完全滿足模具的真空熱處理的要求。為防止?fàn)t殼受熱后變形和密封材料受熱變質(zhì)，爐殼一般用水冷或氣冷降溫。爐膛位于密封爐殼內(nèi)。根據(jù)爐子用途,爐膛內(nèi)部裝有不同類型的加熱元件，如電阻、感應(yīng)線圈、電極和電子槍等。熔煉金屬的真空爐爐膛內(nèi)裝有坩堝，有的還裝有自動(dòng)澆注裝置和裝卸料的機(jī)械手等。真空系統(tǒng)主要由真空泵、真空閥門和真空計(jì)等組成。

固溶處理：使合金中各種相充分溶解，強(qiáng)化固溶體并提高韌性及抗蝕性能，消除應(yīng)力與軟化，以便繼續(xù)加工成型。

時(shí)效處理：在強(qiáng)化相析出的溫度加熱并保溫，使強(qiáng)化相沉淀析出，得以硬化，提高強(qiáng)度。

淬火：將鋼奧氏體化后以適當(dāng)?shù)睦鋮s速度冷卻，使工件在橫截面內(nèi)全部或一定的范圍內(nèi)發(fā)生馬氏體等不穩(wěn)定組織結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變的熱處理工藝。

回火：將經(jīng)過淬火的工件加熱到臨界點(diǎn)AC1以下的適當(dāng)溫度保持一定時(shí)間，隨后用符合要求的方法冷卻，以獲得所需要的組織和性能的熱處理工藝。

隨著真空熱處理技術(shù)及其相關(guān)設(shè)備的發(fā)展，這幾年逐步發(fā)展出了一批新技術(shù)，這些新技術(shù)反過來也推動(dòng)了真空熱處理在更多領(lǐng)域的應(yīng)用。應(yīng)從儀表盤上確認(rèn)是哪個(gè)部分出現(xiàn)了故障，然后在針對(duì)某個(gè)部分進(jìn)行篩查，或通過專業(yè)人員快速排出故障。其中，真空氫氣復(fù)合凈化就是這些新技術(shù)中的佼佼者，它打破了以往使用氫氣爐時(shí)容易受到各種外在環(huán)境制約的影響，并且還極大地提高了使用安全性。

在民用市場(chǎng)領(lǐng)域，針對(duì)該技術(shù)的研究和應(yīng)用推動(dòng)了我國(guó)金剛石制造技術(shù)的進(jìn)步。在領(lǐng)域，該技術(shù)在軟磁合金和電工純鐵的熱處理方面發(fā)揮了重要作用，通過采用此項(xiàng)技術(shù)使得產(chǎn)品磁性能得到了明顯提高，而產(chǎn)品矯頑力卻得到了顯著降低。