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工作原理

片機(jī)械泵的結(jié)構(gòu)如圖一所示，主要由圓柱空腔定子、偏心轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧、頂蓋和排氣閥等零件組成。偏心轉(zhuǎn)子的頂端始終保持與泵體定子內(nèi)腔接觸，當(dāng)偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，始終沿定子的內(nèi)壁滑動(dòng)。轉(zhuǎn)子上開(kāi)有兩個(gè)滑槽，分別安裝一個(gè)旋片，中間有一個(gè)彈簧，當(dāng)旋片隨轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，借助彈簧張力和離心力，使兩旋片緊貼在定子內(nèi)壁滑動(dòng)。整個(gè)空腔放在油箱內(nèi)。兩個(gè)旋片把轉(zhuǎn)子、定子內(nèi)腔和定蓋所圍成的月牙形空間分隔成A、B、C三個(gè)部分，分別叫做吸氣腔、壓縮腔和排氣腔。當(dāng)轉(zhuǎn)子按圖示方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，與進(jìn)氣口相通的空間A的容積不斷地增大，A空間的壓強(qiáng)不斷地降低，當(dāng)A空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)，根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理，被抽的

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盤(pán)式牽引級(jí)是在平板圓盤(pán)平面上按一定規(guī)律開(kāi)出數(shù)條型線(xiàn)溝槽，然后將數(shù)塊圓盤(pán)串接起來(lái)構(gòu)成，型線(xiàn)有阿基米德螺線(xiàn)、對(duì)數(shù)螺線(xiàn)、圓弧線(xiàn)等。抽氣時(shí)靠高速轉(zhuǎn)動(dòng)的圓盤(pán)對(duì)氣體分子進(jìn)行“拖動(dòng)”，使其沿溝槽作由內(nèi)向外及由外向內(nèi)的往復(fù)折回的定向流動(dòng)，從而達(dá)到抽氣目的。筒式牽引級(jí)是在圓筒形的轉(zhuǎn)子或定子的圓柱面上開(kāi)一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線(xiàn)溝槽開(kāi)在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線(xiàn)速度對(duì)氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設(shè)計(jì)制造中，可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來(lái)達(dá)到較理想的抽氣效果。

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性能參數(shù)

通常擴(kuò)散泵的性能是以極限真空、反壓強(qiáng)、抽氣速率以及設(shè)置冷阱或低溫?fù)醢宥ā?.極限真空如果對(duì)一般油擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)進(jìn)行改進(jìn)，如減少油蒸氣的返流，加分鎦裝置，合理分配加熱功率，改進(jìn)噴嘴角度設(shè)計(jì)，加以擋油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使擴(kuò)散泵性能大大改善，極限真空可達(dá)到更低的壓強(qiáng)。油擴(kuò)散泵工作壓力范圍是10^-1~10^-6Pa，起始?jí)毫φ檬菣C(jī)械泵的極限壓力，因此，油擴(kuò)散泵通常要利用機(jī)械泵作為前級(jí)泵，將真空度抽到10^-1Pa后才能開(kāi)始工作。

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一般的泵(水泵、小油泵)可以用平尺或塞尺進(jìn)行粗測(cè)，但是對(duì)大多數(shù)設(shè)備都需要精測(cè)，用百分表進(jìn)行測(cè)量。一般機(jī)泵的水平度已找好，以機(jī)泵的對(duì)輪為基準(zhǔn)，測(cè)定與調(diào)整電機(jī)對(duì)輪，來(lái)保證電機(jī)與機(jī)泵兩軸對(duì)中。

注：a1、a2、a3、a4表示徑向間隙，S1、S2、S3、S4表示軸向間隙測(cè)量時(shí)先測(cè)出百分表在0o時(shí)的徑向間隙a1和軸向間隙S1，然后分別測(cè)出90o、180o、270o的徑向與軸向間隙，并分別記錄于上圖所示的圓內(nèi)與圓外。測(cè)量回到0o時(shí)，必須與原始讀數(shù)一致，否則要查找原因，一般由軸竄動(dòng)或地腳螺栓松動(dòng)所致。后測(cè)量數(shù)據(jù)還須符合以下條件，才表示計(jì)算正確。