光學微電子行業(yè)凈化工程設計方案分析：對于常規(guī)電子廠房潔凈室空調的設計，應根據(jù)電子廠房的生產(chǎn)工藝要求及甲方的經(jīng)濟條件來選用哪種空調設計方案，以滿足生產(chǎn)工藝的要求作為前提。根據(jù)以往經(jīng)驗，對于要求高的可以選用組合式空氣處理機組集中處理的空調方案;對于要求不高的，又要初投資低的，可以選用柜機 FFU?？傊唧w的方案選擇根據(jù)具體情況而定。

潔凈室的管理規(guī)范：

    1、進入潔凈室的管理，包括對潔凈室工作人員進入，物料進入，各類設備的搬入以及相關的設備，管線的維護管理，應做到不得將微粒，微生物帶入潔凈室。

    2、操作管理技術，對潔凈室內人員用潔凈工作的制作，穿著和其清洗，操作人員的移動和動作，室內設備及裝修材料的選擇和清掃，滅菌等，盡可能減少，防止?jié)崈羰覂葔m粒，微生物的產(chǎn)生，滯留，繁殖等。

    關于潔凈室等動力采樣的問題：所謂等動力采樣就是在檢測時，粒子的計數(shù)器的采樣管的入口方向與被采樣的單向氣流方向相一致，并且空氣進入取樣管入口的平均速度與該位置單向氣流的平均速度相同。由于對凈化工程的檢測咱們主要關心兩種粒徑，即0.5um和5um。非等動力采樣關于≤0.5um的粒子影響不大。假如取樣空氣用于計算大于或等于0.5um的粒徑濃度，假如這些粒子不受非等動力條件的影響，則計算結果也不受影響。