當(dāng)數(shù)控機(jī)床長期使用或由于其本身傳動(dòng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)上的原因，有可能存在反向死區(qū)誤差。這時(shí)，可在數(shù)控編程和加工時(shí)采取一些措施，以消除反向死區(qū)誤差，提高加工精度。精加工工件輪廓為a→b→c→d，如采用如圖4所示的刀具移動(dòng)路線就不妥，因?yàn)閺蘑佟诘倪\(yùn)動(dòng)方向與③→④相反，會(huì)產(chǎn)生反向間隙，如改為圖5所示的刀具移動(dòng)路線，精加工時(shí)刀具在徑向的移動(dòng)保持尺寸連續(xù)遞增趨勢，在軸向的移動(dòng)保持尺寸連續(xù)向左趨勢，這樣便消除了機(jī)床的反向間隙的影響。精加工廠家圖紙服務(wù)熱線。

      現(xiàn)代超精密加工機(jī)床與系統(tǒng)已應(yīng)用到當(dāng)代多個(gè)技術(shù)領(lǐng)域，在推動(dòng)科技進(jìn)步方面發(fā)揮著重大作用?？傮w上，我國該項(xiàng)技術(shù)與水平還有較大差距。瞄準(zhǔn)未來發(fā)展方向，抓住主要矛盾，突破關(guān)鍵技術(shù)，適應(yīng)發(fā)展需求，對推動(dòng)我國科技進(jìn)步，加強(qiáng)建設(shè)具有重大意義。光學(xué)元件因面形精度和表面質(zhì)量要求非常高，是超精密加工典型性和代表性的主要應(yīng)用領(lǐng)域。精加工廠家圖紙服務(wù)熱線。

        針對微小陣列結(jié)構(gòu)的光學(xué)自由曲面元件，曲面曲率變化大，XZC聯(lián)動(dòng)加工時(shí)刀具會(huì)產(chǎn)生非常大的瞬時(shí)運(yùn)動(dòng)加速度變化。因刀具安裝機(jī)床拖板大慣量和驅(qū)動(dòng)功率所限，加上振動(dòng)因數(shù)，XZC直接控制將會(huì)遇到很大困難。精加工廠家圖紙服務(wù)熱線。

        對于矢高較小的微小陣列結(jié)構(gòu)的光學(xué)自由曲面元件加工，F(xiàn)TS（Fast Tool Servo，快速刀具伺服）加工技術(shù)是一種可行的解決方案，即在機(jī)床Z軸拖板與刀具之間安裝一個(gè)低慣量微小行程、高頻響位移控制機(jī)構(gòu)（圖1）。依Z向加工所需行程大小和頻響要求，微位移機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)元件可選壓電、音圈或小型直線電機(jī)等。FTS的控制可采取CZ隨動(dòng)控制方式。精加工廠家圖紙服務(wù)熱線。

      超精密機(jī)床主軸承載工件尺寸、重量大，一般宜采用液體靜壓主軸。液體靜壓主軸阻尼大、抗振性好、承載力大，但主軸高速時(shí)發(fā)熱多，需采取液體冷卻恒溫措施。液體靜壓主軸回轉(zhuǎn)精度可達(dá)0.1μm。工件主軸用于速度控制模式時(shí)，主軸角度編碼器分辨率要求不高。當(dāng)用于XZC位置控制模式時(shí)，為了保證加工工件的表面質(zhì)量，編碼器分辨率要求非常高，可達(dá)0.06″。精加工廠家圖紙服務(wù)熱線。

       為了保證主軸精度和穩(wěn)定性，無論氣壓源或液壓源都需進(jìn)行恒溫、過濾和壓力精密控制處理。早期的超精密機(jī)床采用氣浮靜壓導(dǎo)軌技術(shù)。氣浮靜壓導(dǎo)軌易于維護(hù)，但阻尼小，承載抗振性能差，現(xiàn)已較少采用。閉式液體靜壓導(dǎo)軌具有高抗振阻尼、高剛度、承載力大的優(yōu)勢。國外主要的超精密加工現(xiàn)在主要采用液體靜壓導(dǎo)軌。超精密的液體靜壓導(dǎo)軌的直線度可達(dá)到0.1μm。精加工廠家圖紙服務(wù)熱線。